[發明專利]蒸鍍裝置無效
| 申請號： | 201380010547.3 | 申請日： | 2013-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN104136653A | 公開（公告）日： | 2014-11-05 |
| 發明（設計）人： | 北村一樹;西森泰輔;宮川展幸 | 申請（專利權）人： | 松下電器產業株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 王成坤;胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝置 | ||
1.一種蒸鍍裝置，用于通過蒸鍍在所輸送的被蒸鍍體上形成薄膜，該蒸鍍裝置具有構成熱壁的筒狀體，該筒狀體具有面向沿著所述被蒸鍍體的輸送方向的所述被蒸鍍體的一面的開口，其特征在于，
所述蒸鍍裝置具有配置在所述筒狀體的內部并構成所述熱壁的分離板，通過該分離板，所述筒狀體的內部被分離為沿著所述開口的面在與所述被蒸鍍體的輸送方向垂直的方向上并列的第一分離空間和第二分離空間，
在所述第一分離空間中設有構成為保持放射到該第一分離空間中的蒸鍍材料的第一蒸鍍源和構成為檢測來自該第一蒸鍍源的蒸鍍材料的放射的第一傳感器，
在所述第二分離空間中設有構成為保持放射到該第二分離空間中的蒸鍍材料的第二蒸鍍源和構成為檢測來自該第二蒸鍍源的蒸鍍材料的放射的第二傳感器。
2.如權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，
所述分離板構成為不在筒狀體的開口附近對所述筒狀體的內部進行分離，
所述分離板構成為隔斷分別連接所述第一蒸鍍源和第二蒸鍍源的放射部與所述第二傳感器和第一傳感器的傳感器部的假想直線。
3.如權利要求1或2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，
所述第一蒸鍍源和第二蒸鍍源分別由多個蒸鍍源構成，所述第一傳感器和第二傳感器分別由多個傳感器構成。
4.如權利要求1～3中的任意一項所述的蒸鍍裝置，其特征在于，
所述蒸鍍裝置具有配置在所述筒狀體的內部并構成所述熱壁的第二分離板，通過該第二分離板，所述筒狀體的內部被分離為沿著所述開口的面在與所述被蒸鍍體的輸送方向垂直的方向上并列的所述第二分離空間和第三分離空間，
在所述第三分離空間中設有構成為保持放射到該第三分離空間中的蒸鍍材料的第三蒸鍍源和構成為檢測來自該第三蒸鍍源的蒸鍍材料的放射的第三傳感器，
由所述第一蒸鍍源保持的蒸鍍材料、由所述第二蒸鍍源保持的蒸鍍材料、由所述第三蒸鍍源保持的蒸鍍材料為相同種類。
5.如權利要求1～4中的任意一項所述的蒸鍍裝置，其特征在于，
所述蒸鍍裝置具有構成為沿著所述開口的面局部遮蔽所述筒狀體的內部的遮蔽體，該遮蔽體配置在比所述第一傳感器和所述第二傳感器靠所述開口側的位置。
6.如權利要求5所述的蒸鍍裝置，其特征在于，
在所述筒狀體的軸方向上并列設置多個所述遮蔽體。
7.如權利要求6所述的蒸鍍裝置，其特征在于，
多個所述遮蔽體分別具有開口，在所述筒狀體的軸方向上相鄰的所述遮蔽體的所述開口在所述軸方向上不重合。
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