[發(fā)明專(zhuān)利]沉積包封膜的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380009246.9
• 申請(qǐng)日: 2013-02-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104115300B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J·J·陳;T·K·元;B·S·樸;Y·J·崔;S·Y·崔
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L51/56
• 分類(lèi)號(hào): H01L51/56;H05B33/10;H05B33/04
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司31100
• 代理人: 黃嵩泉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明實(shí)施例大致是有關(guān)于使用化學(xué)氣相沉積處理來(lái)沉積薄膜，更特定地，本發(fā)明是有關(guān)于一種用來(lái)沉積薄膜至大面積基板上的工藝。

背景技術(shù)

近年來(lái)，由于有機(jī)發(fā)光二極管(Organic?light?emitting?diode,OLED)顯示器具有反應(yīng)時(shí)間快、觀賞視角大、高對(duì)比、重量輕、低耗電及可于柔性基板上操作等優(yōu)點(diǎn)，因此較液晶顯示器(Liquid?Crystal?Displays,LCD)更常被用于各種顯示應(yīng)用中。在C.W.Tang以及S.A.Van?Slyke于1987年發(fā)表高效電致發(fā)光(Electroluminescence,EL)之后，OLED實(shí)際應(yīng)用上可通過(guò)夾在兩電極間的兩層有機(jī)材料來(lái)發(fā)光。此兩有機(jī)層(與已知的單一有機(jī)層不同)具有一層可單極(空穴)傳輸?shù)膶蛹坝脕?lái)電致發(fā)光的另一層，因而降低OLED顯示器所需的工作電壓。

除了用在OLED中的有機(jī)材料外，也已研發(fā)出許多可供小分子、柔性有機(jī)發(fā)光二極管(Flexible?Organic?Light?Emitting?Diode,FOLED)及聚合物發(fā)光二極管(Polymer?Light?Emitting?Diode,PLED)顯示器用的聚合物材料。許多這種有機(jī)及聚合物材料對(duì)一些基板上復(fù)雜、多層元件的制造來(lái)說(shuō)，是具有彈性的，使其成為各種透明多色顯示器應(yīng)用(例如，薄型平面顯示器(Flat?Panel?Display,FPD)、電動(dòng)有機(jī)激光(electrically?pumped?organic?laser)及有機(jī)光學(xué)放大器)的理想材料。

多年來(lái)，顯示器裝置的層體已發(fā)展成多層結(jié)構(gòu)，每一層均具有不同的功能。圖1圖示設(shè)置于基板101上的OLED裝置結(jié)構(gòu)的一例。在透明陽(yáng)極層102(例如，銦錫氧化物(Indium?Tin?Oxide,ITO)層)沉積于基板101上之后，多個(gè)有機(jī)層的堆迭(stack)沉積于陽(yáng)極層102之上。這些多個(gè)有機(jī)層可包含空穴注入層103、空穴傳輸層104、發(fā)射層105、電子傳輸層106及電子注入層107。須注意的是，在建構(gòu)OLED發(fā)光單元(cell)時(shí)，并非全部5層有機(jī)材料都需要。舉例來(lái)說(shuō)，在某些情況下，只需要空穴傳輸層104及發(fā)射層105。于沉積有機(jī)層后，金屬陰極108沉積于這些有機(jī)層的堆迭之上。當(dāng)適當(dāng)電壓110(典型情況是幾伏特)被施加至這個(gè)發(fā)光單元時(shí)，所注入的正電荷與負(fù)電荷會(huì)在發(fā)射層105中重新結(jié)合以產(chǎn)生光120(電致發(fā)光)。這些有機(jī)層的結(jié)構(gòu)以及陽(yáng)極與陰極的選擇是設(shè)計(jì)成使發(fā)射層中的再結(jié)合步驟最大化，因而將從OLED元件所發(fā)出的光最大化。

顯示器裝置的使用壽命可能是受到限制的，特征是EL效率降低及驅(qū)動(dòng)電壓升高，原因是有機(jī)或聚合物材料的退化、不發(fā)光的暗點(diǎn)(non-emissive?dark?spots)的形成、以及有機(jī)層在約55℃或以上的高溫的結(jié)晶，例如空穴傳輸材料會(huì)在室溫下發(fā)生結(jié)晶。因此，需要這些材料的低溫沉積工藝，例如，需要在約100℃或更低。此外，材料退化及暗點(diǎn)問(wèn)題的主要原因是水氣及氧氣的滲入。舉例來(lái)說(shuō)，發(fā)現(xiàn)暴露在潮濕環(huán)境下會(huì)誘發(fā)一般作為發(fā)射層使用的8-羥基喹啉鋁(Alq3)出現(xiàn)結(jié)晶結(jié)構(gòu)，造成陰極出現(xiàn)分層現(xiàn)象，因此，所述不發(fā)光的暗點(diǎn)將會(huì)隨著時(shí)間而變大。此外，暴露在空氣或氧氣下也會(huì)造成陰極氧化，而一旦有機(jī)材料與水或氧氣反應(yīng)后，所述有機(jī)材料即不再具有功能。

目前，大部分的顯示器制造商使用金屬罐或玻璃罐材料作為包封層，以保護(hù)元件中的有機(jī)材料不受水(H2O)或氧氣(O2)的侵害。圖2圖示一種于基板201上的OLED裝置200的傳統(tǒng)封裝，其利用玻璃或金屬包封材料205。裝置200包括陽(yáng)極層202及陰極層204，并具有多層有機(jī)材料203。利用一種UV光可硬化的環(huán)氧樹(shù)脂珠206，可將金屬或玻璃材料205像個(gè)蓋子一樣黏附到基板201上，但是，水分還是可以輕易地穿透此環(huán)氧樹(shù)脂珠206并損害裝置200。