[發(fā)明專利]第13族元素氮化物晶體的制造方法以及熔融液組合物有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380001907.3 | 申請日： | 2013-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN103620096A | 公開（公告）日： | 2014-03-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 坂井正宏;巖井真 | 申請（專利權(quán)）人： | 日本礙子株式會(huì)社 |
| 主分類號： | C30B29/38 | 分類號： | C30B29/38;C30B19/02 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務(wù)所 31210 | 代理人： | 李曉 |
| 地址： | 日本愛知縣名古*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 13 元素 氮化物 晶體 制造 方法 以及 熔融 組合 | ||
1.一種第13族元素氮化物晶體的制造方法，通過助熔劑法在熔融液內(nèi)制造第13族元素氮化物晶體，其特征在于，
所述熔融液通過將堿金屬與堿土金屬中的至少一種原料、第13族元素原料以及液體鍺原料的組合物加熱而生成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述鍺原料為四鹵化鍺。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述鍺原料為有機(jī)鍺化合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述有機(jī)鍺化合物為四烷氧基鍺。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4任意一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述組合物進(jìn)一步含有碳源。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5任意一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述第13族元素包含鎵和鋁中的至少一個(gè)。
7.一種熔融液組合物，用于通過助熔劑法在熔融液內(nèi)培養(yǎng)第13族元素氮化物晶體，其特征在于，
其含有堿金屬和堿土金屬中的至少一種原料、第13族元素原料以及液體鍺原料。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的組合物，其特征在于，所述鍺原料為四鹵化鍺。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的組合物，其特征在于，所述鍺原料為有機(jī)鍺化合物。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的組合物，其特征在于，所述有機(jī)鍺化合物為四烷氧基鍺。
11.根據(jù)權(quán)利要求7～10任意一項(xiàng)所述的組合物，其特征在于，進(jìn)一步含有碳源。
12.根據(jù)權(quán)利要求7～11任意一項(xiàng)所述的組合物，其特征在于，所述第13族元素包含鎵和鋁中的至少一個(gè)。
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