[發(fā)明專利]導(dǎo)電,抗腐蝕,耐磨損,高硬度類金剛石涂層的制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610278839.0
• 申請(qǐng)日: 2016-05-03
• 公開（公告）號(hào): CN107338414A
• 公開（公告）日: 2017-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 白春陽(yáng);王俊波;任睦琳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大連金泰表面工程科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35;C23C14/06;C23C14/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種導(dǎo)電，抗腐蝕，耐磨損，高硬度碳基薄膜的制備方法，其特征在于，具體包括步驟如下：

第一步：基材表面清洗；

第二步：基材被裝到真空設(shè)備轉(zhuǎn)架上；

第三步：真空設(shè)備被抽真空并加熱；

第四步：離子源對(duì)基材表面清洗和活化；

第五步：在基材表面沉積鈦金屬過渡層；

第六步：在鈦金屬過渡層上沉積摻雜鈦金屬類金剛石薄膜。

2.如權(quán)利要求1 所述的導(dǎo)電，抗腐蝕，耐磨損，高硬度碳基薄膜的制備方法，其特征在于，第一步中，預(yù)處理是指將基材依次在特殊溶液中超聲處理清洗20min。

3.如權(quán)利要求1 所述的導(dǎo)電,抗腐蝕,耐磨損,高硬度碳基薄膜的制備方法，其特征在于，第四步中，利用離子源離化氬氣對(duì)基材清洗和活化30min。

4.如權(quán)利要求1 所述的導(dǎo)電,抗腐蝕,耐磨損,高硬度碳基薄膜的制備方法，其特征在于，第四步中溫度為50-100度。

5.如權(quán)利要求1 所述的導(dǎo)電,抗腐蝕,耐磨損,高硬度碳基薄膜的制備方法，其特征在于，第五步中，用磁控靶沉積鈦金屬，磁控靶電流為2-60A，鈦過渡層厚度為200-300nm。

6.如權(quán)利要求1 所述的導(dǎo)電,抗腐蝕,耐磨損,高硬度碳基薄膜的制備方法，其特征在于，第六步中，利用離子源離化乙炔，電流為30-40A，鈦摻雜類金剛石碳基薄膜為1-2μm。