[實用新型]晶體表面除塵裝置

有效

• 申請號: 201320879959.8
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN203648924U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 吳延劍
• 申請（專利權）人: 珠海東精大電子科技有限公司
• 主分類號: B08B5/04
• 分類號: B08B5/04
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 王賢義

1.一種晶片表面除塵裝置，其特征在于：所述晶片表面除塵裝置包括吸附治具（1）、連接管（2）、真空發生器（3）、電磁閥（4）、控制開關（5），所述吸附治具（1）通過連接管（2）與所述真空發生器（3）的吸氣口（30）相聯通，所述真空發生器（3）的進氣口（31）與外部的空壓機相聯通，所述電磁閥（4）設置在所述進氣口（31）處，所述電磁閥（4）、所述控制開關（5）與電源相連接，所述吸附治具（1）包括盒體（10）、設置在所述盒體（10）上的空腔（11）、設置在所述盒體（10）一側且分別于所述空腔（11）和所述連接管（2）相聯通的吸氣口（12）、設置在所述盒體（10）的突起部（13）、設置在所述突起部（13）上的導柱（14）和與所述空腔（11）相聯通的若干個晶片吸附孔（15）。

2.根據權利要求1所述的晶片表面除塵裝置，其特征在于：所述控制開關（5）為腳踏式控制開關。