[實用新型]邊緣可拼接的光罩有效

申請號：	201320879744.6	申請日：	2013-12-30
公開（公告）號：	CN203644820U	公開（公告）日：	2014-06-11
發明（設計）人：	崔相玉	申請（專利權）人：	徐州同鑫光電科技有限公司
主分類號：	H01L33/58	分類號：	H01L33/58
代理公司：	徐州支點知識產權代理事務所(普通合伙) 32244	代理人：	唐猛
地址：	221000 江蘇***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	邊緣拼接
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【權利要求書】：

1.一種邊緣可拼接的光罩，包括上邊（1）、下邊（2）、短邊Ⅰ（3）、短邊Ⅱ（4）、短邊Ⅲ（5）和模殼（6），其特征在于，光罩為一體成型，上邊（1）至短邊Ⅰ（3）距離為12μm至16μm，短邊Ⅰ（3）至短邊Ⅱ（4）距離為10μm至14μm，短邊Ⅱ（4）至短邊Ⅲ（5）距離為12μm至16μm，短邊Ⅲ（5）至下邊（2）的距離為11μm至15μm，模殼（6）的直徑為11.5μm，模殼（6）之間的間距為3.5μm。

2.根據權利要求1所述的邊緣可拼接的光罩，其特征在于，所述的上邊（1）至短邊Ⅰ（3）距離為14.5μm。

3.根據權利要求1所述的邊緣可拼接的光罩，其特征在于，所述的短邊Ⅰ（3）至短邊Ⅱ（4）距離為12.5μm。

4.根據權利要求1所述的邊緣可拼接的光罩，其特征在于，所述的短邊Ⅱ（4）至短邊Ⅲ（5）距離為14.5μm。

5.根據權利要求1所述的邊緣可拼接的光罩，其特征在于，所述的短邊Ⅲ（5）至下邊（2）的距離為13.5μm。

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