[實用新型]基于MEMS的紅外輻射熱計有效
| 申請號： | 201320850208.3 | 申請日： | 2013-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN203643027U | 公開（公告）日： | 2014-06-11 |
| 發明（設計）人： | 郭俊 | 申請（專利權）人： | 無錫微奇科技有限公司 |
| 主分類號： | G01J5/22 | 分類號： | G01J5/22 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 mems 紅外 輻射熱 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于MEMS的紅外輻射熱計，包括橋面(1)、導熱導電橋臂以及橋墩組件；所述橋面(1)上布置有溫敏層(2)；所述導熱導電橋臂有兩根，分別是第一導熱導電橋臂(3)與第二導熱導電橋臂(4)，所述第一導熱導電橋臂(3)與所述第二導熱導電橋臂(4)相對布置在所述橋面(1)的兩側；所述橋墩組件包括分別布置在所述第一導熱導電橋臂(3)與所述第二導熱導電橋臂(4)端部下方的第一橋墩(10)與第二橋墩(11)，所述第一橋墩(10)與所述第二橋墩(11)的底部分別設置有與所述溫敏層(2)電連接的第一讀出電路連接點(7)與第二讀出電路連接點(8)；其特征是：所述橋面(1)與所述第一讀出電路連接點(7)或所述第二讀出電路連接點(8)所在平面之間的間隙(12)大于所述第一橋墩(10)或者所述第二橋墩(11)的高度。
2.按照權利要求1所述的基于MEMS的紅外輻射熱計，其特征是：所述第一橋墩(10)或者所述第二橋墩(11)的高度為0.3-1.5微米，所述間隙(12)為1-4微米。
3.按照權利要求1或2所述的基于MEMS的紅外輻射熱計，其特征是：所述第一導熱導電橋臂(3)與所述第二導熱導電橋臂(4)分別為L形。
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