[實用新型]一種基板傳送腔體

有效

• 申請號: 201320828815.X
• 申請日: 2013-12-17
• 公開（公告）號: CN203674178U
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 劉書謙
• 申請（專利權）人: 精曜(蘇州)新能源科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

技術領域

本實用新型涉及工業基板制造和加工領域，尤其涉及一種傳送基板用的腔體。

背景技術

如今，太陽能電池、光伏以及半導體元件制作過程中需要對各種基板執行多重處理，例如濺射、電鍍、物理氣相沉積等工藝。這些工藝需要在一個個獨立的處理室中實現，而這些處理室組成了整個基板加工的流水線。這些處理室中就包括了本實用新型專利中所描述的傳送腔體。在現有技術中，傳送腔體用于執行裝載其他處理室傳送過來的基板。傳送腔體的外殼通常使用金屬表面，而這些金屬的反射率低，不能將熱量反射回基板上，以保持基板的溫度。因此，基板可能會失去在傳輸過程中的熱量，當基板進入下一個處理室的時候就需要再加熱，浪費了時間和制造成本。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提出一種基板傳送腔體，它包括：傳送腔體和安裝在腔體內側上壁、下壁上的可開合遮板，所述的傳送腔體采用金屬材料制成或傳送腔體的上、下內壁上涂有黑體輻射材料，所述的可開合遮板以可拆卸的方式安裝在腔體的上、下內壁上。

所述的可開合遮板為相對腔體內部面上涂有高反射金屬涂層的可伸縮的幕簾或內部具有液態冷卻系統的可伸縮的幕簾。

一種基板傳送腔體，它還包括一安裝在腔體內部中央位置的保溫降溫系統，所述的保溫降溫系統可根據基板的需求對其進行保溫或降溫。

所述的雙層可開合遮板包括一層為高反射性金屬涂層的保溫遮板和一層為黑體輻射材料的降溫遮板，所述的雙層可開合遮板以可拆卸的方式安裝在傳送腔體內部中央位置。

優選地，所述的雙層可開合遮板的保溫遮板和降溫遮板之間還有液態冷卻系統。

優選地，所述的基板為太陽能電池片。

進一步地，所述的可開合遮板采用聚酯薄膜制成。

進一步地，所述的黑體輻射材料包括黑漆、黑色陽極處理的氧化鋁。

本實用新型的具有以下有益效果：1.在腔體內壁上安裝可開合遮板，可以根據腔體內基板的需求和走向進行判斷，從而對基板采取保溫或降溫措施，節省了資源和時間。2.進一步地在腔體內中央位置安裝保溫降溫系統，以滿足腔體內同時存在兩塊或兩塊以上基板的情況，提高了工作效率。

附圖說明

圖1是本實用新型一種基板傳送腔體的結構示意圖。

圖2是本實用新型實施例1的結構示意圖。

圖3是本實用新型實施例2的結構示意圖。

圖4是本實用新型中帶有液態冷卻系統的雙層可開合遮板的局部剖面結構示意圖。

其中：1-傳送腔體、2-可開合遮板、3-保溫降溫系統、4-保溫幕簾、5-降溫幕簾、6-機械手背、7-基板、8-黑體輻射材料、9-液態冷卻系統。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明作進一步的說明。

如圖1、2所示。一種基板傳送腔體，它包括：傳送腔體和安裝在腔體內側上壁、下壁上的可開合遮板，所述的傳送腔體采用金屬材料制成或傳送腔體的上、下內壁上涂有黑體輻射材料，所述的可開合遮板以可拆卸的方式安裝在腔體的上、下內壁上。

所述的可開合遮板為相對腔體內部面上涂有高反射金屬涂層的可伸縮的幕簾或內部具有液態冷卻系統的可伸縮的幕簾。

一種基板傳送腔體，它還包括一安裝在腔體內部中央位置的保溫降溫系統，所述的保溫降溫系統可根據基板的需求對其進行保溫或降溫。

所述的雙層可開合遮板包括一層為高反射性金屬涂層的保溫遮板和一層為黑體輻射材料的降溫遮板，所述的雙層可開合遮板以可拆卸的方式安裝在傳送腔體內部中央位置。

優選地，所述的雙層可開合遮板的保溫遮板和降溫遮板之間還有液態冷卻系統。

優選地，所述的基板為太陽能電池片。

進一步地，所述的可開合遮板采用聚酯薄膜制成。

進一步地，所述的黑體輻射材料包括黑漆、黑色陽極處理的氧化鋁。

實施例一

當有一塊基板7通過機械手臂6從裝卸室或加熱室傳送進入傳送腔體1內時，腔體1內的上、下兩可開合遮板2被拉開，遮板2可以將托盤上帶有高溫的基板7的熱能反射，使其熱量保持在傳送腔體1內，而不被散發出去，基板7不易降溫。相反，當有一塊基板7從鍍膜室進入傳送腔體1，而后將其傳送到外界時，傳送腔體1內的上、下兩可開合遮板2被收回，基板7上的熱能將會通過傳送腔體1的金屬外殼迅速散熱，或通過傳送腔體1上、下內表面上的黑體輻射材料涂層將熱能迅速吸收，從而達到給基板降溫的效果，使其能盡快達到室溫。

實施例二

當傳送腔體1內同時存在兩個以上的基板7時，且兩基板7由兩個方向（即一塊由裝卸室或加熱室進入傳送腔體1，而另一塊由鍍膜室進入傳送室腔體1）同時傳送進入腔體1，傳送腔體1中的上、下兩遮板2及其中央位置的雙層可開合遮板會同時開始工作。雙層可開合遮板一層為高反射性金屬涂層的保溫遮板4，另一層為黑體輻射材料8的降溫遮板5；它們將整個傳送腔體1分成保溫和降溫兩個區域，分別用于同時容納需要保溫和需要降溫的兩塊基板7，由裝卸室或加熱室進入傳送室的基板被送入由雙層可開合遮板中保溫遮板和腔體內壁可開合遮板圍成的保溫區域；由鍍膜室進入傳送室的基板被送入由雙層可開合遮板中降溫遮板和金屬腔體1所圍成的降溫區域。這樣就可以同時滿足不同的基板在同一空間下的不同需求，大大減少了工業制造時間的同時也節省了資源、提高了工作效率。進一步地，雙層可開合遮板的保溫遮板和降溫遮板之間還可以設有液態冷卻系統9，如冷卻水循環降溫系統，這樣可以進一步的加快降溫速度，提高傳送腔體1的工作效率。