[實用新型]一種基板傳送腔體

有效

• 申請號: 201320828815.X
• 申請日: 2013-12-17
• 公開（公告）號: CN203674178U
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 劉書謙
• 申請（專利權）人: 精曜(蘇州)新能源科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種基板傳送腔體，其特征在于它包括：傳送腔體（1）和安裝在腔體（1）內側上壁、下壁上的可開合遮板（2），所述的傳送腔體（1）采用金屬材料制成或傳送腔體（1）的上、下內壁上涂有黑體輻射材料（8），所述的可開合遮板（2）以可拆卸的方式安裝在腔體（1）的上、下內壁上。

2.根據權利要求1所述的基板傳送腔體，其特征在于：所述的可開合遮板（2）為相對腔體內部面上涂有高反射金屬涂層的可伸縮的幕簾或內部具有液態冷卻系統的可伸縮的幕簾。

3.根據權利要求1或2所述的基板傳送腔體，其特征在于：它還包括一安裝在腔體（1）內部中央位置的保溫降溫系統（3），所述的保溫降溫系統（3）為雙層可開合遮板，可根據基板的需求對其進行保溫或降溫。

4.根據權利要求3所述的基板傳送腔體，其特征在于：所述的雙層可開合遮板包括一層為高反射性金屬涂層的保溫遮板（4）和一層為黑體輻射材料（8）的降溫遮板（5），所述的雙層可開合遮板以可拆卸的方式安裝在傳送腔體（1）內部中央位置。

5.根據權利要求4所述的基板傳送腔體，其特征在于：所述的雙層可開合遮板的保溫遮板（4）和降溫遮板（5）之間還有液態冷卻系統（9）。

6.根據權利要求1所述的基板傳送腔體，其特征在于：所述的基板（7）為太陽能電池片。

7.根據權利要求1所述的基板傳送腔體，其特征在于：所述的可開合遮板（2）采用聚酯薄膜制成。