[實用新型]圓形六角密排多像素光子計數器

有效

• 申請號: 201320817286.3
• 申請日: 2013-12-11
• 公開（公告）號: CN203745087U
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 張國青;劉麗娜;朱長軍
• 申請（專利權）人: 西安工程大學
• 主分類號: G01J11/00
• 分類號: G01J11/00
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 羅笛

1.圓形六角密排多像素光子計數器，其特征在于，包括有光子計數器本體，所述光子計數器本體上設置有若干個圓形APD單元（10），所述若干個圓形APD單元（10）呈多行多列交錯排列，所述若干圓形APD單元（10）之間并聯，所述若干個圓形APD單元（10）都與一個負載連接。?

2.根據權利要求1所述的圓形六角密排多像素光子計數器，其特征在于，所述光子計數器本體，自上而下依次設置有SiO₂鈍化層（2）、高摻雜層（3）、外延層（4）及襯底層（8），所述SiO₂鈍化層（2）的上部邊緣設置有電極（1），所述外延層（4）內靠近高摻雜層（3）處設置有多個富摻雜區（5），每個富摻雜區（5）的下部與所述襯底層（8）之間設置有體電阻區（6），相鄰的兩個體電阻區（6）之間設置有耗盡隔離區（7），所述襯底層（8）的下部設置有背電極（9）。?

3.根據權利要求2所述的圓形六角密排多像素光子計數器，其特征在于，所述襯底層（8）為摻雜的硅單晶片，硅單晶片的摻雜類型為N型或P型；?

所述外延層（4）為摻雜的硅單晶片，硅單晶片摻雜類型為N型或P型。?

4.根據權利要求1所述的圓形六角密排多像素光子計數器，其特征在于，所述電極（1）和所述背電極（9）均為金屬膜或透明導電膜。?

5.根據權利要求4所述的圓形六角密排多像素光子計數器，其特?征在于，所述金屬膜為銀膜、金膜、鋁膜或鈦膜。?

6.根據權利要求4所述的圓形六角密排多像素光子計數器，其特征在于，所述透明導電膜為ITO薄膜。?