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[實用新型]一種可視化芯片挑晶機氣壓檢測系統(tǒng)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201320740326.9 申請日: 2013-11-20
公開(公告)號: CN203672543U 公開(公告)日: 2014-06-25
發(fā)明(設(shè)計)人: 朱俊 申請(專利權(quán))人: 太倉思比科微電子技術(shù)有限公司
主分類號: G01L9/00 分類號: G01L9/00
代理公司: 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278 代理人: 包紅健
地址: 215411 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 可視化 芯片 挑晶機 氣壓 檢測 系統(tǒng)
【說明書】:

技術(shù)領(lǐng)域

實用新型涉及芯片測試行業(yè),特別涉及一種可視化芯片挑晶機氣壓檢測系統(tǒng)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的對芯片,特別是對CMOS芯片進行測試的系統(tǒng)中,挑晶機的吸嘴機構(gòu)上配有氣壓檢測表,在芯片吸取和放置過程中,操作人員在適當?shù)臅r間點讀取氣壓表輸出值來判斷此過程中有無吸到芯片,有無成功放置芯片。現(xiàn)有的問題是:1、氣壓檢測表的數(shù)字輸出實時性差,只適用靜態(tài)下觀察吸嘴機構(gòu)的氣壓值。2、即使機臺檢測氣壓檢測表的值達到閾值要求,還是會出現(xiàn)芯片吸取歪斜,芯片放置不平的現(xiàn)象。

由于現(xiàn)有的氣壓檢測表顯示的結(jié)果實時性差,挑晶人員無法精確的觀察吸嘴機構(gòu)的氣壓值變化曲線,也無法了解在某一時間點的氣壓值變化以便診斷芯片吸放的故障。

實用新型內(nèi)容

針對上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題,本實用新型的目的在于提供一種可視化的芯片挑晶機氣壓檢測系統(tǒng)。

為了實現(xiàn)上述實用新型目的,本實用新型采用的技術(shù)方案如下:

一種可視化芯片挑晶機氣壓檢測系統(tǒng),包括:機臺、芯片吸取機構(gòu)、氣壓檢測表、數(shù)據(jù)采集板、上位機,其中,

所述芯片吸取機構(gòu)設(shè)置在機臺上方,用于吸取芯片并將芯片移置到預定的位置;

所述氣壓檢測表與吸芯片吸取機構(gòu)連接,用于采集芯片吸取機構(gòu)的實時輸出信號;

所述數(shù)據(jù)采集板用于根據(jù)機臺發(fā)送的觸發(fā)信號和停止信號開始和停止對氣壓檢測表的實時輸出信號的采集,并將所采集的信號轉(zhuǎn)換成壓力值數(shù)據(jù)發(fā)送給上位機;

所述上位機用于將采集的壓力值數(shù)據(jù)在窗口中按照時間軸繪制成氣壓變化波形。

進一步地,在上述可視化芯片挑晶機氣壓檢測系統(tǒng)中,所述氣壓變化波形中x坐標表示時間,其中采樣頻率是氣壓檢測表采樣頻率的10倍,Y坐標表示經(jīng)過數(shù)據(jù)采集板中A/D轉(zhuǎn)換后的氣壓值,其中Y軸正方向為負值,表示負壓。

進一步地,在上述可視化芯片挑晶機氣壓檢測系統(tǒng)中,所述芯片吸取機構(gòu)包括氣管、吸嘴、電磁閥接頭,所述芯片吸取機構(gòu)通過氣管與所述氣壓檢測表連接。

進一步地,在上述可視化芯片挑晶機氣壓檢測系統(tǒng)中,所述數(shù)據(jù)采集板采集氣壓檢測表的模擬輸出,并進行A/D轉(zhuǎn)換,將采集的數(shù)據(jù)寫入緩存。

進一步地,在上述可視化芯片挑晶機氣壓檢測系統(tǒng)中,所述上位機通過以太網(wǎng)口主動從數(shù)據(jù)采集板獲取氣壓值數(shù)據(jù)。

進一步地,在上述可視化芯片挑晶機氣壓檢測系統(tǒng)中,所述上位機將芯片吸取和放置成功的曲線保存,所保持的曲線可重新載入,與當前的吸收和放置不成功的曲線進行對比,以診斷在吸放過程中存在的問題。

優(yōu)選地,在上述可視化芯片挑晶機氣壓檢測系統(tǒng)中,所述氣壓檢測表包括SMC?ISE30高精度數(shù)字壓力開關(guān)。

通過本實用新型提供的可視化芯片挑晶機氣壓檢測系統(tǒng),挑晶人員可以精確地觀察芯片在吸取和放置過程中的氣壓變化曲線,并且可以將芯片吸放OK的曲線保持,必要時重新載入程序和當前的吸放NG的曲線相對比來診斷問題。操作人員能夠根據(jù)氣壓變化波形,判斷芯片在吸放過程中吸嘴機構(gòu)的密封性不好或者電磁閥的響應(yīng)速度不夠而導致芯片和吸嘴之間有相對位移或者芯片會被甩掉。

附圖說明

圖1為一種可視化芯片挑晶機氣壓檢測系統(tǒng)示意圖;

圖2為一種可視化芯片挑晶機氣壓檢測方法示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白,下面結(jié)合實施例及附圖,對本實用新型進行進一步詳細說明。應(yīng)當理解,此處所描述的具體實施例僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。

本實施例提供一種可視化CMOS芯片挑晶機氣壓檢測系統(tǒng),如圖1所示,包括:機臺、芯片吸取機構(gòu)、氣壓檢測表、數(shù)據(jù)采集板、上位機,其中,所述芯片吸取機構(gòu)設(shè)置在機臺上方,用于吸取芯片并將芯片移置到預定的位置;所述氣壓檢測表與芯片吸取機構(gòu)連接,用于采集芯片吸取機構(gòu)的實時輸出信號;所述數(shù)據(jù)采集板用于根據(jù)機臺發(fā)送的觸發(fā)信號和停止信號開始和停止對氣壓檢測表的實時輸出信號的采集,并將所采集的信號轉(zhuǎn)換成壓力值數(shù)據(jù)發(fā)送給上位機;所述上位機用于將采集的壓力值數(shù)據(jù)在窗口中按照時間軸繪制成氣壓變化波形。

其中,所述氣壓變化波形中x坐標表示時間,其中采樣頻率是氣壓檢測表采樣頻率的10倍,Y坐標表示經(jīng)過數(shù)據(jù)采集板中A/D轉(zhuǎn)換后的氣壓值,其中Y軸正方向為負值,表示負壓。

所述芯片吸取機構(gòu)包括氣管、吸嘴、電磁閥接頭,所述芯片吸取機構(gòu)通過氣管與所述氣壓檢測表連接。

所述氣壓檢測表包括SMC?ISE30高精度數(shù)字壓力開關(guān)。

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