[實用新型]用于制備石英晶片的腐蝕機有效
| 申請號： | 201320733978.X | 申請日： | 2013-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN203530139U | 公開（公告）日： | 2014-04-09 |
| 發明（設計）人： | 楊峰 | 申請（專利權）人： | 芮城金豐瑞電子有限公司 |
| 主分類號： | C03C15/00 | 分類號： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 太原科衛專利事務所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 044600 山西省運*** | 國省代碼： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 制備 石英 晶片 腐蝕 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于制備石英晶片的腐蝕機，其特征在于：包括殼體（9），所述殼體（9）的上部安裝有升降旋轉電機（3）、溫度控制器（5）、時間控制器（4）、頻率監控儀（6），所述溫度控制器（5）通過數據線分別與升降旋轉電機（3）、時間控制器（4）、頻率監控儀（6）連接，所述時間控制器（4）通過數據線與頻率監控儀（6）連接，所述頻率監控儀（6）通過數據線與升降旋轉電機（3）連接；
所述升降旋轉電機的輸出軸通過連接桿連接有盛放石英晶片的網桶（7），所述網桶（7）的正下方安裝有儲液桶（8），所述儲液桶（8）的底部安裝有加熱管（1），儲液桶（8）內設有溫度探頭（2），所述溫度探頭（2）與溫度控制器（5）連接。
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