[實用新型]超純砷烷的分析裝置

有效

• 申請號: 201320731174.6
• 申請日: 2013-11-19
• 公開（公告）號: CN203616296U
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發明（設計）人: 李英輝;朱顏;王陸平;馬瀟;許從應;王仕華;王智
• 申請（專利權）人: 蘇州丹百利電子材料有限公司
• 主分類號: G01N30/88
• 分類號: G01N30/88
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 王玉國;陳忠輝

1.超純砷烷的分析裝置，其特征在于：包括四通進樣閥、預分離柱、第一分析柱、第二分析柱、十通閥、六通閥和四通閥，四通進樣閥的端口分別與超純砷烷樣品氣管路、氦氣管路、氮氣管路以及十通閥的其中一端口相連，十通閥的其中一端口與分子泵機組相連，其相連的管路上安裝有壓力傳感器和隔膜閥，十通閥的其中兩端口分別與定量管的進口和出口相連，十通閥的其中兩端口分別與預分離柱的進口和出口相連，十通閥的其中兩端口分別與載氣管路相連，十通閥的其中一端口與放空管路相連，十通閥的其中一端口與六通閥的其中一端口相連，六通閥的其中兩端口分別與載氣管路相連，六通閥的其中一端口與放空管路相連，六通閥的其中一端口與第一分析柱相連，第一分析柱與四通閥的其中一端口相連，六通閥的其中一端口與第二分析柱相連，第二分析柱與四通閥的其中一端口相連，四通閥的其中一端口與檢測器相連，四通閥的其中一端口與放空管路相連。

2.根據權利要求1所述的超純砷烷的分析裝置，其特征在于：所述檢測器為直流放電氦離子化檢測器。

3.根據權利要求1所述的超純砷烷的分析裝置，其特征在于：所述預分離柱為長0.5～1.0m、內徑1/8″、內裝80～100目的CST填充柱。

4.根據權利要求1所述的超純砷烷的分析裝置，其特征在于：所述第一分析柱為長1～3m、內徑1/8″、內裝80～100目的5A分子篩填充柱，第二分析柱為長1～3m、內徑1/8″、內裝80～100目的Haysep?Q填充柱。