[實用新型]玻璃基板蝕刻槽

有效

• 申請號: 201320721166.3
• 申請日: 2013-11-13
• 公開（公告）號: CN203960050U
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發明（設計）人: 林瑞欽;黃兆暢;陳泓邑;李沅達;張欣華;葉容凱;黃慧清;張世群;羅中育;陳欽典;簡文鴻
• 申請（專利權）人: 睿志達光電(深圳)有限公司;正達國際光電股份有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 深圳市鼎言知識產權代理有限公司 44311
• 代理人: 孔麗霞

技術領域

本案涉及一種玻璃基板蝕刻槽。?

背景技術

玻璃基板是制造平板顯示器的主要材料，廣泛應用于液晶顯示器、等離子顯示屏、觸控屏、有機發光顯示器等領域。隨著當今世界高新技術產品飛速發展，對平板顯示器的輕薄化要求越來越高，因而玻璃基板的減薄工藝成了終端顯示產品能否實現薄型化的核心問題之一。?

所謂減薄就是用化學藥液將玻璃基板均勻蝕刻至目標厚度。目前常見的減薄工藝包括有浸泡式和噴淋式。在浸泡式減薄工藝中，通常會用到承載有藥液(蝕刻液)的蝕刻槽，并把玻璃基板浸泡在蝕刻液中，以完成玻璃基板的減薄。在浸泡式減薄工藝中，蝕刻槽的設計對其內承載的蝕刻液的流向及蝕刻液對玻璃基板的蝕刻效果起著較為重要的作用。蝕刻槽設計不當，會導致玻璃基板蝕刻效果不佳。?

實用新型內容

為解決現有技術中因蝕刻槽設計不當導致玻璃基板蝕刻效果不佳的問題，有必要提供一種可維持玻璃基板蝕刻效果的玻璃基板蝕刻槽。?

一種玻璃基板蝕刻槽，其包括包括殼體，該殼體包括側壁及底部，該底部及側壁配合圍成頂部具有開口的收容腔用以承載蝕刻液。該收容腔內還鋪設有進液管道，該進液管道鄰近殼體底部鋪設，該進液管道面向開口的一側設置有第一噴口，蝕刻液經由進液管道的第一噴口進入收容腔，玻璃基板由該開口進入收容腔，并限位在?進液管道面向開口的一側以進行蝕刻。?

在一實施方式中,該收容腔內還鋪設有曝氣管道，該曝氣管道鋪設在該進液管道面向開口的一側，該曝氣管道面向該開口的一側設置有第二噴口，玻璃基板蝕刻槽通過曝氣管道的第二噴口向收容腔內通入氣體，玻璃基板限位在曝氣管道面向開口的一側以進行蝕刻。?

在一實施方式中,玻璃基板夾持限位在一玻璃基板承載裝置內，并通過該玻璃基板承載裝置的夾持限位并豎立在曝氣管道面向開口的一側。?

在一實施方式中,該玻璃基板承載裝置包括相對設置的二第一側板及二相對設置的第二側板，該第二側板與第一側板垂直相連圍成一收容空間，該玻璃基板限位并豎立在該收容空間內，該進液管道和曝氣管道對應該收容空間鋪設并向該玻璃基板承載裝置的收容空間噴入蝕刻液和氣體。?

在一實施方式中,該殼體的收容腔內還設置有一底板封板，該底板封板架設固定在殼體的底板并位于該進液管道面向殼體底板的一側，且位于該進液管道和曝氣管道下方的底板封板對應該玻璃基板承載裝置的收容空間設置。?

在一實施方式中,該進液管道和曝氣管道的延伸方向互相垂直。?

在一實施方式中,該殼體側壁鄰近該開口一側設置有溢流口，用以使得過多之蝕刻液可由該溢流口排出。?

在一實施方式中,該殼體的底部設置有排液口，用以使得在蝕刻完成后可由該排液口抽出蝕刻液。?

在一實施方式中,該殼體的底部為倒椎體狀，該排液口設置在底部之椎體的尖端處。?

由于本案的玻璃基板蝕刻槽的進液管道鄰近殼體底部鋪設，曝氣管道鋪設在該進液管道面向開口的一側，因此，其可合理實現蝕刻液的流向控制，使得蝕刻液的向玻璃基板一側流動，以實現更好的蝕刻效果。?

附圖說明

圖1是本案浸泡式減薄工藝中采用的玻璃基板蝕刻槽及承載著玻璃基板的玻璃基板承載裝置的一較佳實施方式的立體示意圖。?

圖2是圖1所示的玻璃基板蝕刻槽省略一部分側壁的立體示意圖。?

圖3是圖2所示的玻璃基板蝕刻槽與玻璃基板承載裝置的分解示意圖。?

圖4是圖2所示的玻璃基板承載裝置的示意圖。?

圖5是圖4所示的玻璃基板承載裝置省略一部分側板的示意圖。?

圖6是圖2所示的玻璃基板蝕刻槽的示意圖。?

圖7是圖5所示的玻璃基板蝕刻槽VI部分的放大示意圖。?

主要元件符號說明?

玻璃基板蝕刻槽???10?

殼體?????????????12?

收容腔???????????120?

開口?????????????122?

排液口???????????128?

溢出口???????????127?

側壁?????????????13?

底部?????????????15?

進液管道?????????16?

第一噴口?????????162?

進液口???????????164?

曝氣管道?????????17?

第二噴口?????????172?