[實用新型]玻璃基板蝕刻槽

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320721166.3
• 申請日: 2013-11-13
• 公開（公告）號: CN203960050U
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發(fā)明（設計）人: 林瑞欽;黃兆暢;陳泓邑;李沅達;張欣華;葉容凱;黃慧清;張世群;羅中育;陳欽典;簡文鴻
• 申請（專利權）人: 睿志達光電(深圳)有限公司;正達國際光電股份有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 深圳市鼎言知識產權代理有限公司 44311
• 代理人: 孔麗霞

1.一種玻璃基板蝕刻槽，其包括殼體，該殼體包括側壁及底部，該底部及側壁配合圍成頂部具有開口的收容腔用以承載蝕刻液，其特征在于：該收容腔內還鋪設有進液管道，該進液管道鄰近殼體底部鋪設，該進液管道面向開口的一側設置有第一噴口，蝕刻液經由進液管道的第一噴口進入收容腔，玻璃基板由該開口進入收容腔，并限位在進液管道面向開口的一側以進行蝕刻。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于：該收容腔內還鋪設有曝氣管道，該曝氣管道鋪設在該進液管道面向開口的一側，該曝氣管道面向該開口的一側設置有第二噴口，玻璃基板蝕刻槽通過曝氣管道的第二噴口向收容腔內通入氣體，玻璃基板限位在曝氣管道面向開口的一側以進行蝕刻。

3.根據權利要求2所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于：玻璃基板夾持限位在一玻璃基板承載裝置內，并通過該玻璃基板承載裝置的夾持限位并豎立在曝氣管道面向開口的一側。

4.根據權利要求3所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于：該玻璃基板承載裝置包括相對設置的二第一側板及二相對設置的第二側板，該第二側板與第一側板垂直相連圍成一收容空間，該玻璃基板限位并豎立在該收容空間內，該進液管道和曝氣管道對應該收容空間鋪設并向該玻璃基板承載裝置的收容空間噴入蝕刻液和氣體。

5.根據權利要求4所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于：該殼體的收容腔內還設置有一底板封板，該底板封板架設固定在殼體的底板并位于該進液管道面向殼體底板的一側，且位于該進液管道和曝氣管道下方的底板封板對應該玻璃基板承載裝置的收容空間設置。

6.根據權利要求2所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于：該進液管道和曝氣管道的延伸方向互相垂直。

7.根據權利要求1所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于：該殼體側壁鄰近該開口一側設置有溢流口，用以使得過多之蝕刻液可由該溢流口排出。

8.根據權利要求1所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于：該殼體的底部設置有排液口，用以使得在蝕刻完成后可由該排液口抽出蝕刻液。

9.根據權利要求8所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于：該殼體的底部為倒椎體狀，該排液口設置在底部之椎體的尖端處。