[實(shí)用新型]一種真空沉積系統(tǒng)及其旋轉(zhuǎn)饋入裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320706064.4
• 申請日: 2013-11-08
• 公開（公告）號: CN203625463U
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何祝兵;蘇奇聰;王春柱
• 申請（專利權(quán)）人: 南方科技大學(xué)
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C16/458;C23C14/54;C23C16/52
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空沉積鍍膜，尤其涉及一種真空沉積系統(tǒng)及其旋轉(zhuǎn)饋入裝置，可應(yīng)用于TFT-LCD、太陽能薄膜電池、半導(dǎo)體芯片、晶圓等薄膜工藝制備和生產(chǎn)的真空鍍膜系統(tǒng)中。

背景技術(shù)

薄膜沉積模塊的生產(chǎn)包括將基片（例如玻璃板）運(yùn)入且運(yùn)出沉積系統(tǒng)中的一個(gè)或多個(gè)真空室，在沉積系統(tǒng)，半導(dǎo)體材料的薄膜層被沉積至基片的表面上。該沉積過程可以是任何已知的過程，例如封閉空間升華系統(tǒng)(CSS)，化學(xué)氣象沉積系統(tǒng)(CVD)或物理氣象沉積系統(tǒng)（PVD）。

輸送基片通過真空室結(jié)構(gòu)的沉積系統(tǒng)典型地使用受驅(qū)動的輸送機(jī)或其他合適的輸送裝置。在維持結(jié)構(gòu)內(nèi)高真空狀態(tài)的同時(shí)，需要在真空室內(nèi)建立受控制的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動以驅(qū)動輸送機(jī)。為該目的而提供的傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)饋入是相對復(fù)雜且通常需要由室壁內(nèi)或室壁外的軸承支撐的通軸。該軸又可操作地連接至齒輪箱或馬達(dá)，馬達(dá)經(jīng)由直接聯(lián)接、帶傳動或鏈傳動提供旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。現(xiàn)有技術(shù)中一種用于真空室結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)饋入裝置，應(yīng)用于太陽能光伏產(chǎn)業(yè)。其旋轉(zhuǎn)饋入裝置包括具有外殼和軸的齒輪箱，軸由包含在外殼內(nèi)的軸承可旋轉(zhuǎn)地支承。馬達(dá)可操作地聯(lián)接至齒輪箱外殼以驅(qū)動軸，且軸從齒輪箱延伸。第一動密封組件可操作地設(shè)置在齒輪箱外殼和室壁之間，且軸設(shè)置成穿過第一動密封組件并且延伸穿過在室壁中的孔并進(jìn)入結(jié)構(gòu)的內(nèi)部。經(jīng)由齒輪箱外殼中的軸承，軸由軸承可旋轉(zhuǎn)地支承。這些傳統(tǒng)的裝置是相對昂貴、復(fù)雜且笨重的，不利于設(shè)備的安裝維護(hù)。

另外，隨著薄膜沉積技術(shù)的發(fā)展，生產(chǎn)工藝在保證膜層質(zhì)量的基礎(chǔ)上，提出了提高生產(chǎn)效率，降低制造成本的要求，那么傳輸機(jī)構(gòu)就不會局限于一種動作，為降低設(shè)備成本，增加薄膜產(chǎn)品的競爭力，如何利用一個(gè)旋轉(zhuǎn)饋入裝置同時(shí)能滿足兩種不同運(yùn)動功能就成為了行業(yè)發(fā)展迫切的需求。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種真空沉積系統(tǒng)及其旋轉(zhuǎn)饋入裝置，結(jié)構(gòu)簡捷輕巧，成本低，安裝維護(hù)方便，控制精度準(zhǔn)確。

為了解決上述技術(shù)問題，一方面，本實(shí)用新型的實(shí)施例提供了一種旋轉(zhuǎn)饋入裝置，括第一固定組件、傳動軸、第一動密封組件及第一直驅(qū)馬達(dá)；

所述第一固定組件包括第一固定座，所述第一固定座上設(shè)有軸孔；

所述第一動密封組件安裝于所述軸孔中，用于所述傳動軸與所述第一固定座之間的密封；

所述傳動軸繞自身軸向轉(zhuǎn)動穿設(shè)所述第一動密封組件；

所述第一直驅(qū)馬達(dá)安裝于所述第一固定組件，所述第一直驅(qū)馬達(dá)的輸出端連接于所述傳動軸，以驅(qū)動所述傳動軸轉(zhuǎn)動。

其中，所述第一固定座為一端閉合的筒狀，所述軸孔開設(shè)在第一固定座的閉合端；所述第一固定座上相對閉合端的另一端密封設(shè)置以形成一密閉腔體，所述第一直驅(qū)馬達(dá)的輸出端位于該密閉腔體中。

其中，所述第一固定組件還包括第一支撐套筒及第一端蓋，所述第一固定座上相對閉合端的另一端與所述第一支撐套筒的一端固定連接，所述第一支撐套筒的另一端與所述第一端蓋固定連接；所述第一直驅(qū)馬達(dá)位于所述第一支撐套筒中。

其中，所述第一動密封組件包括套筒、磁流體密封件及密封圈，所述套筒固定于所述軸孔中，所述密封圈設(shè)置在所述套筒與所述第一固定組件之間，所述傳動軸繞自身軸向轉(zhuǎn)動套設(shè)在所述套筒內(nèi)，所述磁流體設(shè)置在所述套筒的內(nèi)壁與所述傳動軸之間。

其中，所述旋轉(zhuǎn)饋入裝置還包括第二固定組件及第二直驅(qū)馬達(dá)；

所述第一固定組件轉(zhuǎn)動連接于第二固定組件；

所述第二直驅(qū)馬達(dá)固定于第二固定組件，其輸出端連接于所述第一固定組件或所述第一直驅(qū)馬達(dá)，以驅(qū)動所述第一固定組件轉(zhuǎn)動。

其中，所述第二固定組件包括第二固定座，所述第二固定座為環(huán)狀，所述第一固定座轉(zhuǎn)動套設(shè)在所述第二固定座內(nèi)；所述第一固定座與所述第二固定座之間設(shè)有第二動密封組件，所述第二動密封組件包括兩個(gè)同軸設(shè)置的兩個(gè)動密封圈及真空管道，所述第一固定座、所述第二固定座與兩個(gè)所述動密封圈之間形成環(huán)狀的密封空間，所述真空管道設(shè)置在所述第二固定座上，所述真空管道的一端連通至所述密封空間、另一端連通至一真空抽氣裝置。

其中，所述傳動軸、所述第一直驅(qū)馬達(dá)及所述第二直驅(qū)馬達(dá)同軸設(shè)置。

另一方面，本實(shí)用新型還提供了一種真空沉積系統(tǒng)，包括前述的旋轉(zhuǎn)饋入裝置及真空腔室，所述真空腔室的腔壁上設(shè)有安裝孔，所述旋轉(zhuǎn)饋入裝置安裝于所述安裝孔處；

所述旋轉(zhuǎn)饋入裝置的第一固定組件安裝于所述安裝孔，所述旋轉(zhuǎn)饋入裝置的第一直驅(qū)馬達(dá)位于所述真空腔室外、傳動軸上遠(yuǎn)離所述第一直驅(qū)馬達(dá)的一端位于所述真空腔室中。