[實用新型]晶圓升降裝置

有效

• 申請號: 201320672797.0
• 申請日: 2013-10-29
• 公開（公告）號: CN203536401U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 曹偉剛;田華
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，尤其涉及一種晶圓升降裝置。

背景技術

晶圓在制造過程中，均在反應腔室內進行反應，例如沉積薄膜、刻蝕等。通常反應腔室內包括加熱器，用于對反應腔室以及晶圓進行加熱，由于加熱器表面溫度較高，為了保護晶圓，也為了使晶圓的受熱更加均勻，通常會在加熱器中設有多個孔，每個孔中均安放有頂針（Lift?Pin），加熱器下方也設有頂針環（Lifter?Ring），頂針環下方設有頂針盒（Lift?Bellow），所述頂針盒頂住頂針環的一角側壁通過螺絲相固定，使頂針環能夠上下移動，在晶圓放置在加熱器上之后，開始進行反應之前，頂針盒頂住頂針環，使頂針環上移，從而頂起頂針，將晶圓頂起，使晶圓與加熱器保持一定的距離，進而才開始進行反應。

請參考圖1和圖2，圖1為現有技術中晶圓升降裝置的俯視圖，圖2為晶圓升降裝置沿圖1虛線方向的剖面示意圖，其中，頂針10設于頂針環20上，用于頂起晶圓，所述頂針環20下方一角設有套筒21，頂針盒30設于所述頂針環20的下方，與所述套筒21通過螺絲31相固定，所述頂針盒30能夠上下移動，能夠帶動所述頂針環20上下移動，上移時所述頂針環20能夠頂起頂針10，進而頂起晶圓。

由于所述頂針10僅僅是放置于所述頂針環20上，易搖晃，而且所述頂針10的材質為陶瓷，較細，在被頂針環20帶動上下移動時，所述頂針10十分容易被折斷，并且，所述頂針盒30僅僅與所述套筒21相固定，所述套筒21僅僅位于所述頂針環20的一角，在所述頂針盒30上下移動時，會使所述頂針環20受力不均勻，造成所述頂針環20出現傾斜，此外，由于頂針盒30上下頻率較高，易造成螺絲31松動，且所述頂針盒30在所述套筒21中發生水平位移。當發生位移或者螺絲松動時，會導致所述頂針環20出現傾斜更加嚴重。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種晶圓升降裝置，能夠增加穩定性，避免頂針斷裂。

為了實現上述目的，本實用新型提出了一種晶圓升降裝置，包括：

頂針、頂針環、套筒、支撐件以及頂針盒，其中，所述頂針環的一面通過螺紋固定所述頂針，另一面固定所述套筒和支撐件，所述支撐件與所述套筒相固定，所述頂針盒頂端由所述套筒伸入并與所述頂針環通過螺母相固定。

進一步的，所述頂針盒包括一凹槽與一嵌件，所述嵌件設于所述套筒與所述凹槽之間。

進一步的，所述頂針環和頂針的材質均為陶瓷。

進一步的，所述套筒的材質為陶瓷。

進一步的，所述頂針環和套筒為一體成型。

進一步的，所述支撐件俯視圖為L型，側視圖為三角形。

進一步的，所述支撐件的材質為陶瓷。

進一步的，所述頂針環和支撐件為一體成型。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果主要體現在：頂針與頂針環通過螺紋相固定，防止頂針搖晃，從而在頂針環在上下移動時能夠避免頂針斷裂，支撐件能夠提高頂針環上下移動時的穩定性，避免頂針環發生側偏；由于頂針盒的頂端和頂針環通過螺母固定，不僅能夠避免頂針盒松動，還能夠防止頂針盒發生水平位移。

附圖說明

圖1為現有技術中晶圓升降裝置的俯視圖；

圖2為晶圓升降裝置沿圖1虛線方向的剖面示意圖；

圖3為本實用新型一實施例中晶圓升降裝置的俯視圖；

圖4為本實用新型一實施例中晶圓升降裝置沿圖3虛線方向的剖面示意圖。

具體實施方式

下面將結合示意圖對本實用新型的晶圓升降裝置進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。

為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須做出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規工作。

在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。