[實用新型]氣體供應(yīng)裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320672685.5 | 申請日： | 2013-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN203533217U | 公開（公告）日： | 2014-04-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張文武;張禎;刁春華;周鵬;楊洪;廖偉杰 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | F17D5/02 | 分類號： | F17D5/02 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區(qū)*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氣體 供應(yīng) 裝置 | ||
1.一種氣體供應(yīng)裝置，用于向需求設(shè)備提供氣體，其特征在于，包括：
供應(yīng)設(shè)備、氣動閥、電磁閥組、供氣管路、第一驅(qū)動氣管、第二驅(qū)動氣管、控制單元以及感應(yīng)器；其中，所述供應(yīng)設(shè)備和需求設(shè)備通過供氣管路相連，所述氣動閥設(shè)置于所述供氣管路上，所述第二驅(qū)動氣管連接所述電磁閥組和氣動閥，所述控制單元與所述電磁閥組信號連接，所述第一驅(qū)動氣管與所述電磁閥組相連，所述感應(yīng)器設(shè)置于所述第一驅(qū)動氣管上，所述感應(yīng)器與所述控制單元信號連接。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述氣體供應(yīng)裝置還包括一調(diào)壓閥，所述調(diào)壓閥設(shè)置于所述第一驅(qū)動氣管上。
3.如權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述氣體供應(yīng)裝置還包括一驅(qū)動氣源，所述驅(qū)動氣源連接所述第一驅(qū)動氣管。
4.如權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述電磁閥組上設(shè)有一排氣端口。
5.如權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述氣體供應(yīng)裝置還包括一第一信號線，所述控制單元與所述電磁閥組通過所述第一信號線進(jìn)行信號連接。
6.如權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述氣體供應(yīng)裝置還包括一第二信號線，所述感應(yīng)器與所述控制單元通過所述第二信號線進(jìn)行信號連接。
7.如權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述電磁閥組包括多個電磁閥。
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