[實用新型]一種制備石墨烯時使用的石英加熱腔

有效

• 申請號: 201320665607.2
• 申請日: 2013-10-25
• 公開（公告）號: CN203593623U
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 高玉強;宋建;張紅巖;王建正
• 申請（專利權）人: 山東天岳晶體材料有限公司
• 主分類號: C01B31/04
• 分類號: C01B31/04
• 代理公司: 濟南舜源專利事務所有限公司 37205
• 代理人: 苗峻

1.一種制備石墨烯時使用的石英加熱腔，其特征在于：包括內有中空夾層的上開口腔體（1）和頂蓋（9），頂蓋（9）上設置有測溫窗口（3）和進氣口（2），腔體底部設置有測溫窗口（3）和出氣口（5），腔體（1）一側頂部設置有與中空夾層聯通的冷卻水出口（4），腔體（1）另一側底部設置有與中空夾層聯通的冷卻水進口（6），腔體（1）內設置有保溫層（7）。

2.根據權利要求1所述的石英加熱腔，其特征在于：所述的保溫層（7）中部為凹槽（8）。

3.根據權利要求2所述的石英加熱腔，其特征在于：所述的腔體底部設置的測溫窗口（3）貫穿保溫層（7）與凹槽（8）連接。