[實用新型]太陽能電池用硅片擴散爐

有效

• 申請號: 201320661525.0
• 申請日: 2013-10-25
• 公開（公告）號: CN203530506U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 陳五奎;李軍;徐文州;上官新龍;陳磊;馮加保
• 申請（專利權）人: 樂山新天源太陽能科技有限公司
• 主分類號: C30B31/18
• 分類號: C30B31/18;H01L31/18
• 代理公司: 成都宏順專利代理事務所(普通合伙) 51227
• 代理人: 王睿

1.太陽能電池用硅片擴散爐，包括設置有爐門（1）的爐體（2），爐體（2）內設有石英舟（3），硅片放置于石英舟（3）上，爐體（2）上設有用于擴散氣體進入爐體（2）內的進氣管（4）和擴散處理后排放尾氣的排放管（5），所述排放管（5）上連接有抽風機（6），其特征在于：所述抽風機（6）包括風機本體（61），所述風機本體（61）上連接有控制開關（62），所述控制開關（62）與風機本體（61）之間設置有變頻器（63）。?

2.根據權利要求1所述的太陽能電池用硅片擴散爐，其特征在于：所述的進氣管（4）從爐體（2）的側面伸入到爐體（2）內部且位于石英舟（3）上方，進氣管（4）上開設有供擴散氣體垂直向下流出的出氣孔（41），排放管（5）位于石英舟（3）下方，排放管（5）開設有垂直向上供尾氣流入的進氣孔（51）。?

3.根據權利要求2所述的太陽能電池用硅片擴散爐，其特征在于：所述爐體（2）上設置有用于打開或關閉爐門（1）的開關裝置。?

4.如權利要求3所述的太陽能電池用硅片擴散爐，其特征在于：所述開關裝置包括底座（71），所述底座（71）上設置有可移動式支架（72）以及用于驅動可移動式支架（72）沿爐體（2）軸向方向移動的第一驅動裝置（73），還包括旋轉桿（74）、推拉桿（75）以及用于推動推拉桿（75）移動的第二驅動裝置（76），所述底座（71）、可移動式支架（72）、第一驅動裝置（73）、旋轉桿（74）、推拉桿（75）以及第二驅動裝置（76）均位于爐體（2）的軸向中心線下方，所述第二驅動裝置（76）通過轉軸固定在可移動式支架（72）上，所述旋轉桿（74）的前端固定在爐門（1）上，末端通過轉軸固定在可移動式支架（72）上，推拉桿（75）的前端通過轉軸固定在旋轉桿（74）上，末端與第二驅動裝置（76）相連，當第二驅動裝置（76）推動推拉桿（75）移動時，推拉桿（75）推動旋轉桿（74）繞旋轉桿（74）末端的轉軸旋轉從而帶動爐門（1）旋轉。?

5.如權利要求4所述的太陽能電池用硅片擴散爐，其特征在于：所述推拉桿（75）的前端通過轉軸固定在旋轉桿（74）的前端。?

6.如權利要求5所述的太陽能電池用硅片擴散爐，其特征在于：還包括壓縮彈簧（77），所述壓縮彈簧（77）的前端固定在旋轉桿（74）上，末端固定在底座（71）上，并且所述壓縮彈簧（77）與推拉桿（75）位于旋轉桿（74）的同一側。?

7.如權利要求6所述的太陽能電池用硅片擴散爐，其特征在于：所述壓縮彈簧（77）的前端固定在旋轉桿（74）的前端。?

8.如權利要求7所述的太陽能電池用硅片擴散爐，其特征在于：所述第一驅動裝置（73）、第二驅動裝置（76）均為汽缸。?

9.如權利要求8所述的太陽能電池用硅片擴散爐，其特征在于：所述固定旋轉桿（74）末端的轉軸與固定第二驅動裝置（76）的轉軸分別設置在爐體（2）軸向中心線的兩側。?