[實用新型]一種帶工藝保護端的子錠硅棒

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320616625.1
• 申請日: 2013-09-30
• 公開（公告）號: CN203530494U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設計）人: 楊方;談軍;王慶峰;丁海軍;陳遠峰
• 申請（專利權(quán)）人: 國電兆晶光電科技江蘇有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;B28D5/04
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 周祥生

技術(shù)領(lǐng)域：

本實用新型涉及用于多晶硅片切割的多晶硅棒，尤其涉及一種防止硅片的線切割鋼絲斷裂，提高硅片合格率和得片率的多晶硅棒。

技術(shù)背景：

太陽能多晶硅片是太陽能電池片的最基礎原料。現(xiàn)有的多晶硅片的生產(chǎn)方法為多線切割。在加工多晶硅片前，先對硅錠進行切方得到橫截面為方形的子錠坯，然后對方形子錠坯進行少子壽命檢測，將方形子錠坯兩頭少子壽命低的部分（即無效長度部分）截除得到子錠硅棒，最后將子錠硅棒粘接在工件板上，其粘接結(jié)構(gòu)如圖1所示，子錠硅棒1通過玻璃底板2粘接在工件板3上，在子錠硅棒1的外露側(cè)面粘合有垂直玻璃4，用多線切割機進行切割，使多晶子錠加工成多晶硅片。在加工過程中，位于子錠兩頭的硅片在切割開始或臨近切割結(jié)束時，由于受到砂漿的沖擊極易出現(xiàn)掉片、缺角、崩邊等情況，同時，由于子錠兩頭的端面都存在一定角度的斜坡，導致位于子錠兩端的硅片厚度不均，在切割過程中，由于硅片厚度不均，鋼絲受力不均勻，因此，在切割到此處時極易引起切割鋼線斷線，即使切割鋼絲沒斷，位于兩端的硅片破損率也較高，通常每一刀都有10多片缺陷硅片產(chǎn)生，這樣不僅影響硅棒的得片率，而且影響切割硅片切割的質(zhì)量，同時增加了停機接線時間，對于高質(zhì)量要求的硅片切割整卷鋼絲將全部報廢。如果在子錠硅棒1的外露端不增設垂直玻璃板4，每刀切割產(chǎn)生的缺陷硅片數(shù)量會更大。

實用新型內(nèi)容：

本實用新型的目的是提供一種帶工藝保護端的子錠硅棒，它既能防止切割鋼絲斷裂，又能提高硅棒的得片率和合格率。

本實用新型采取的技術(shù)方案如下：

一種帶工藝保護端的子錠硅棒，包括硅片切割區(qū)段和工藝保護段，在硅片切割區(qū)段兩端留有工藝保護段。

進一步，所述工藝保護段的長度為2～5毫米。

帶工藝保護端的子錠硅棒的制作方法是：

第一步，方形子錠坯的切割：將多晶硅錠切割成方形子錠坯；

第二步，待切片子錠硅棒的切割：將第一步得到的方形子錠坯進行少子壽命檢測，根據(jù)少子壽命參數(shù)高低確定硅片切割區(qū)段和位于硅片切割區(qū)段兩端的硅棒無效區(qū)段，并在分界處打上標記線，在截除兩端的硅棒無效區(qū)段時，在硅片切割區(qū)段的兩端各預留2～5mm的工藝保護段，經(jīng)切割得到帶工藝保護端的子錠硅棒。

由于在待切片子錠硅棒的兩端預留了工藝保護段，鋼絲在切割硅棒有效長度兩端的硅片時，位于兩端的硅片在切割過程中，位于子錠硅棒兩端的工藝保護段對最外端的硅片起到保護作用，不僅避免在硅片切割過程中因子錠硅棒兩端斜坡導致切割鋼絲線斷線，而且能有效防止最外側(cè)的硅片出現(xiàn)裂片、缺角、崩邊等缺陷，既能保證硅棒的出片率和硅片的合格率，又能有效防止切割鋼絲因受力不均而導致的斷線缺陷。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中子錠硅棒粘接在工件板上的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為帶工藝保護端的子錠硅棒的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為帶工藝保護端的子錠硅棒粘接在工件板上的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為帶工藝保護端的子錠硅棒的切割示意圖；

圖5為切割帶工藝保護端的子錠硅棒時切割鋼絲的分布示意圖。

圖中，1-子錠硅棒；2-玻璃底板；3-工件板；4-垂直玻璃板；5-切割鋼絲；6-導向輪一；7-導向輪二；11-硅片切割區(qū)段；12-工藝保護段；13-標記線。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖詳細說明本實用新型的具體實施方式：

實施例1：一種帶工藝保護端的子錠硅棒，包括硅片切割區(qū)段11和工藝保護段12，在硅片切割區(qū)段11兩端留有工藝保護段12，所述工藝保護段12的長度為2～5毫米。

帶工藝保護端的子錠硅棒的制作方法是：

第一步，方形子錠坯的切割：將多晶硅錠切割成方形子錠坯；

第二步，待切片子錠硅棒的切割：將第一步得到的方形子錠坯進行少子壽命檢測，根據(jù)少子壽命參數(shù)高低確定硅片切割區(qū)段11和位于硅片切割區(qū)段兩端的硅棒無效區(qū)段，并在分界處打上標記線13，在截除兩端的硅棒無效區(qū)段時，在硅片切割區(qū)段11的兩端各預留2～5mm的工藝保護段12，經(jīng)切割得到帶工藝保護端的子錠硅棒1，這種帶工藝保護端的子錠硅棒1在硅片切割區(qū)段11的兩端都設有工藝保護段12，如圖2所示；

對帶工藝保護端的子錠硅棒進行布線切片的方法：

將帶工藝保護端的子錠硅棒1通過玻璃底板2粘接在工件板3上，使相鄰兩塊帶工藝保護端的子錠硅棒1共線對接，如圖3所示；