[實用新型]含金屬摻雜的類金剛石厚膜

有效

• 申請號: 201320606186.6
• 申請日: 2013-09-29
• 公開（公告）號: CN203546141U
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 錢濤;趙德民;樂務時
• 申請（專利權）人: 星弧涂層新材料科技（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 陸明耀;陳忠輝

1.一種含金屬摻雜的類金剛石厚膜，其特征在于：包含基材（1）、結合層（2）、摻雜層（3）和功能層（4），所述摻雜層（3）和功能層（4）結合形成一復合層，所述基材（1）的上表面設有結合層（2），所述結合層（2）的上表面設有依次疊加的復合層且所述摻雜層（3）和功能層（4）間隔設置，所述結合層（2）與復合層中的摻雜層（3）結合，所述類金剛石厚膜的厚度大于4μm。

2.如權利要求1所述的含金屬摻雜的類金剛石厚膜，其特征在于：所述類金剛石厚膜的厚度大于10μm。

3.如權利要求1所述的含金屬摻雜的類金剛石厚膜，其特征在于：所述基材（1）為合金鋼片、Si片、陶瓷片中的一種。

4.如權利要求1所述的含金屬摻雜的類金剛石厚膜，其特征在于：所述結合層（2）為Cr、Ti、Ni、Si中的一種，所述結合層（2）的厚度為200~300nm。

5.如權利要求1所述的含金屬摻雜的類金剛石厚膜，其特征在于：所述摻雜層（3）中摻雜的金屬為W、Ti、Cr中的一種或多種，所述摻雜層（3）的厚度為80~120nm。

6.如權利要求1所述的含金屬摻雜的類金剛石厚膜，其特征在于：所述功能層（4）為DLC膜層，其厚度為450~550nm。

7.如權利要求1所述的含金屬摻雜的類金剛石厚膜的制備方法，其特征在于：所述功能層（4）的厚度大于所述摻雜層（3）的厚度。