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[實用新型]硅片印刷生產(chǎn)線背電極印刷工位急停裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201320596516.8 申請日: 2013-09-26
公開(公告)號: CN203529352U 公開(公告)日: 2014-04-09
發(fā)明(設(shè)計)人: 高超;徐昌華;史才成;孟憲亮;郝子龍;鄭銀先;華貴俊;陳前兆 申請(專利權(quán))人: 江蘇晶鼎電子材料有限公司
主分類號: B65G43/00 分類號: B65G43/00;B65G49/07
代理公司: 淮安市科文知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 32223 代理人: 謝觀素
地址: 223700 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 硅片 印刷 生產(chǎn)線 電極 印刷工 位急停 裝置
【說明書】:

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域,具體涉及一種硅片印刷生產(chǎn)線背電極印刷工位急停裝置。

背景技術(shù)

硅片印刷生產(chǎn)線能夠先后完成硅片的背電極印刷,背電場印刷,正電極印刷,燒結(jié)等工位。硅片首先由生產(chǎn)線起始端的進料機構(gòu)抓取到傳送帶上,然后進入背電極印刷工位,該過程操作人員需要值守在背電極印刷的操作臺邊。現(xiàn)有設(shè)備采用全自動的進料裝置,當(dāng)背面印刷板出現(xiàn)故障需要停止送料時,由于操作人員距離進料端較遠,不能第一時間關(guān)閉進料開關(guān),這就會導(dǎo)致進料擁堵,給生產(chǎn)造成混亂。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種硅片印刷生產(chǎn)線背電極印刷工位急停裝置,在本工位出現(xiàn)故障時能第一時間停止送料,不會造成送料擁堵,保證了生產(chǎn)的有序進行。

本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):

硅片印刷生產(chǎn)線背電極印刷工位急停裝置,包括印刷生產(chǎn)線進料端的上料機構(gòu),以及背電極印刷工位的操作臺,所述操作臺上設(shè)有急停裝置,所述急停裝置包括開關(guān)座和固定在開關(guān)座內(nèi)的急停按鈕,所述開關(guān)座固定在所述操作臺的殼體上,所述急停按鈕與所述上料機構(gòu)的控制系統(tǒng)電連接。

本實用新型進一步的改進方案是,所述急停按鈕凹設(shè)于所述開關(guān)座內(nèi)。

本實用新型和現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點:

本實用新型在背電極印刷工位操作臺上設(shè)有急停開關(guān),當(dāng)本工位出現(xiàn)故障時能夠第一時間停止送料,避免因為操作人員移動過慢硅片擁堵在印刷工位造成的硅片污染和生產(chǎn)混亂,保證待加工硅片的清潔和生產(chǎn)的有序進行,另外急停裝置的按鈕凹設(shè)在開關(guān)座內(nèi),起到防止誤碰的效果。

附圖說明

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

如圖1所述的硅片印刷生產(chǎn)線背電極印刷工位急停裝置,包括印刷生產(chǎn)線進料端的上料機構(gòu)1,以及背電極印刷工位的操作臺2,操作臺2上設(shè)有急停裝置3,急停裝置3包括開關(guān)座31和固定在開關(guān)座31內(nèi)的急停按鈕32,開關(guān)座31固定在操作臺2的殼體上,急停按鈕32與上料機構(gòu)1的控制系統(tǒng)電連接,急停裝置3的設(shè)置能夠在本工位出現(xiàn)故障時第一時間停止送料,防止送料擁堵造成生產(chǎn)混亂。

本實施例中,急停按鈕32凹設(shè)于開關(guān)座31內(nèi),需要操作人員手動開啟,可防止誤碰。

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