[實用新型]一種MOCVD石墨盤與反應室的連接結構

有效

• 申請號: 201320591835.X
• 申請日: 2013-09-25
• 公開（公告）號: CN203639603U
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 常紅旺
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: C30B25/02
• 分類號: C30B25/02
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247
• 代理人: 胡朝陽;孫潔敏

技術領域

本實用新型涉及氣相沉積領域，尤其涉及一種用于MOCVD石墨盤和反應室旋轉軸之間的連接結構。

背景技術

MOCVD是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。雖然每個設備廠家選擇的工藝路線不同，設計出的反應室類型也不同，不同的MOCVD設備有不同的石墨盤結構。但是基本上MOCVD設備的石墨盤在放入和取出過程中都會存在難以精準定位的缺陷，為了使石墨盤可以和反應室進行精確定位，通常采用的方法都是提高機械手的加工精度，但是相應的也需要投入大量的成本。此外，石墨盤在經過多次取放后，接觸部位很容易被磨損和碰傷，需要定期替換新的石墨盤，造成生產成本的增加。

如何有效地在反應室中將石墨盤精準地放入、以及減少石墨盤的磨損是業界亟待解決的問題。

實用新型內容

本實用新型為了解決上述技術問題，提出了一種MOCVD石墨盤與反應室的連接結構，該連接結構解決了石墨盤被機械手放入反應室時，無法與反應室的旋轉軸進行定位的技術問題，以及石墨盤需要經常拆卸安裝，接觸部位容易磨損和碰傷的技術問題。

本實用新型提出的MOCVD石墨盤與反應室的連接結構，包括石墨盤和設于反應室內的旋轉軸，石墨盤底部設有一連接件，該連接件包括一圓形底座、設于圓形底座上的一錐形凸臺，石墨盤底部設有與連接件相匹配的凹槽，旋轉軸的頂部為錐形結構，連接件的軸心處設有與旋轉軸頂部相匹配的一錐形通孔。

在一實施例中，連接件與石墨盤通過螺紋連接。

進一步地，連接件上設有透氣孔和透氣槽。

本實用新型在石墨盤與反應室的旋轉軸之間采用了錐形連接結構，通過多次實驗檢測可以得出，利用機械手把石墨盤放入反應室時容易準確定位，并且在真空環境中機械手也能在反應室順利取出石墨盤。本實用新型采用錐面支撐結構的石墨盤保證了機械手的加工精度，對機械手本身的精度要求大幅度降低，不需要投入昂貴的研發費用來單獨提升機械手的加工精度，從而降低了機械手的加工難度和加工成本，也為實現了規模化、自動化生產提供了必要的條件。

附圖說明

圖1是本實用新型一實施例的剖視圖；

圖2是本實用新型連接件的結構示意圖。

具體實施方式

如圖1～圖2所示，本實用新型實施例提出的MOCVD石墨盤與反應室的連接結構，包括石墨盤1和設于反應室內的旋轉軸2，本實用新型重點對石墨盤和旋轉軸進行了改進，在石墨盤底部設置一連接件3，該連接件包括一圓形底座和設于圓形底座上的一錐形凸臺，整體形狀類似凸字形，石墨盤底部設有與該連接件形狀相匹配的凹槽，通過連接件來與旋轉軸進行連接，使得石墨盤在進行取放時，不會磨損到石墨盤本身，降低石墨盤的耗損，從而降低生產成本。進一步的為了精準地定位，旋轉軸的頂部也改進為錐形結構，連接件的軸心處設置了與旋轉軸頂部形狀相匹配的錐形通孔，使得石墨盤和旋轉軸之間通過錐形結構來連接，使得機械手在放置石墨盤時，非常容易定位，加工精度很高，不需要對機械手本身的精度進行提升，大幅度壓縮了生產成本。在一實施例中，連接件與石墨盤可以通過螺紋連接，本領域內的技術人員還可以采用其他慣用的方式連接石墨盤和連接件。由于反應室為真空環境，因此連接件上設有透氣孔31和透氣槽32，可以與外界相通，使得在需要取出石墨盤時，可以順利取出。

本實用新型考慮到還可以進行很多變化和修改。因此，盡管已經敘述了改進連接件的優選形式并討論了一些修改，但是本領域技術人員應該理解，在不偏離本實用新型隨后由權利要求書所限定的精神范圍內，還可以進行不同的額外變化和修改。