[實用新型]一種抗大氣沖擊的分子泵轉子

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320578335.2
• 申請日: 2013-09-18
• 公開（公告）號: CN203488431U
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發(fā)明（設計）人: 郁晉軍;董欣;于天化;劉敏強
• 申請（專利權）人: 北京北儀創(chuàng)新真空技術有限責任公司
• 主分類號: F04D29/26
• 分類號: F04D29/26;F04D19/04
• 代理公司: 北京鑫浩聯(lián)德專利代理事務所(普通合伙) 11380
• 代理人: 呂愛萍

技術領域

本實用新型本實用新型屬于流體機械技術領域，尤其涉及一種用于半導體、節(jié)能燈、太陽能制造行業(yè)中用于獲得真空的一種抗大氣沖擊的分子泵轉子。

背景技術

分子真空泵是在1911年由德國人蓋德(w·Gaede)首先發(fā)明的。其原理是靠高速運動的剛體表面?zhèn)鬟f給氣體分子以動量，使氣體分子在剛體表面的運動方向上產(chǎn)生定向流動，從而達到抽氣的目的。1958年，聯(lián)邦德國的W.貝克首次提出有實用價值的渦輪分子泵。渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子(即動葉輪)、靜葉輪和驅(qū)動系統(tǒng)等組成。動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度(一般為150～400米／秒)。單個葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同，但葉片傾斜角相反。傾斜葉片的運動使氣體分子從進氣側穿過葉片到達排氣側的幾率，比從排氣側穿過葉片到達進氣側的幾率大得多。葉輪連續(xù)旋轉，氣體分子便不斷地由進氣側流向排氣側，從而產(chǎn)生抽氣作用。

蓋德牽引泵在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體，但存在抽速小的特點。渦輪分子泵則存在加工多級動靜葉片工藝復雜的特點。同時，由于葉片高速旋轉，動片與靜片的間隙很小，如果突然遭到大氣的沖擊，極易發(fā)生碎裂，造成整泵報廢。復合分子泵將渦輪轉子和牽引轉子串聯(lián)在一起，以獲得更優(yōu)的綜合性能，但同時也繼承了渦輪轉子加工難度高，不耐沖擊的特點。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于改變現(xiàn)有技術中的不足，而提供一種抗大氣沖擊的分子泵轉子。

本實用新型所采用的技術方案：

一種抗大氣沖擊的分子泵轉子，包括中空的圓柱形轉子主體，轉子主體內(nèi)部中心位置設置有轉軸安裝孔，其特征在于：所述的轉子主體的表面上挖設有螺旋形牽引級溝槽，牽引級溝槽的深度從上到下逐漸變淺；每相鄰兩個螺旋形溝槽之間的槽壁形成葉片。

所述葉片的葉片節(jié)距和葉片弦長的比值為1.3-1.5，轉子主體外表面均勻挖設有3-8條相同的螺旋形牽引級溝槽。

所述轉子主體底端牽引級溝槽的深度為2—6mm，頂端牽引級溝槽的深度為30—50mm。

所述的葉片由相鄰的兩條牽引級溝槽之間的槽壁形成，每個葉片也呈螺旋形分布在轉子主體表面上。

所述的轉子主體的上端口端面上均勻設置有上面動平衡配重孔。

本實用新型的有益效果：

1、本實用新型采用牽引級溝槽與轉子主體結合為一體的設計，實現(xiàn)了與復合分子泵相近似的特點，既獲得了高抽速，又獲得了較大的壓縮比，同時也大幅增加了轉子強度，提高了抗大氣沖擊的能力。

2、本實用新型，取消了定片、隔環(huán)，不但降低了設備制作和安裝的復雜程度，也降低了成本。

3、本實用新型采用在轉子主體上挖設牽引級溝槽，相鄰的兩個牽引級溝槽之間的槽壁形成了葉片，由于直接加工葉片要求技術難度較高，加工槽的要求簡單，也降低了加工成本。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構圖。

圖2是本實用新型的剖視圖。

具體實施方式

如圖1、2所示，一種抗大氣沖擊的分子泵轉子，包括中空的圓柱形轉子主體1，轉子主體內(nèi)部中心位置設置有轉軸安裝孔5，轉子葉片節(jié)距和葉片弦長的比值為1.4，轉子主體的表面上挖設有螺旋形牽引級溝槽2，螺旋形牽引級溝槽為5條，每條牽引級溝槽都相同，牽引級溝槽2的深度從上到下逐漸變淺，轉子主體底端牽引級溝槽的深度為2—6mm，頂端牽引級溝槽的深度為30—50mm；每相鄰兩個螺旋形溝槽之間的槽壁形成葉片3，每個葉片也呈螺旋形分布在轉子主體表面上；在轉子主體的上端口端面上均勻設置有上面動平衡配重孔4。

本實用新型根據(jù)氣體的物理特性，采用牽引級溝槽與轉子主體結合為一體的設計，實現(xiàn)了與復合分子泵相近似的特點，既獲得了高抽速，又獲得了較大的壓縮比，同時也大幅增加了強度，提高了抗大氣沖擊的能力；另外，本實用新型的牽引級溝槽是直接在圓柱形轉子主體表面挖設，相鄰的兩個牽引級溝槽之間的槽壁形成了葉片，由于直接加工葉片要求技術難度較高，加工槽的要求簡單，也降低了加工成本。