[實(shí)用新型]一種高低壓料倉管道廢氣處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320573341.9
• 申請(qǐng)日: 2013-09-16
• 公開（公告）號(hào): CN203512782U
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賈坤;曹小龍;徐巖;盧思恩;宋安寧;呂昌彥;田茂遠(yuǎn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): B65G53/50
• 分類號(hào): B65G53/50
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用涉及一種高低壓料倉管道廢氣處理裝置，應(yīng)用于多晶硅生產(chǎn)硅粉輸送系統(tǒng)。

背景技術(shù)

多晶硅生產(chǎn)STC氯氫化流化床反應(yīng)器固體進(jìn)料的實(shí)現(xiàn)，需使用硅粉輸送系統(tǒng)及中間緩沖裝置，分為高壓料倉和低壓料倉，高壓區(qū)使用整個(gè)氯氫化系統(tǒng)的循環(huán)氫氣為高壓氣源，在升壓、泄壓及硅粉輸送過程中由于硅粉對(duì)管道和閥門的摩擦比較大，經(jīng)常有閥門密封面磨損產(chǎn)生內(nèi)漏，在高壓區(qū)和低壓區(qū)，由遠(yuǎn)程控制的盤閥密封，但密封效果不佳，高壓料倉的氫氣極易泄露到低壓料倉，造成安全隱患和浪費(fèi)資源。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種高低壓料倉管道廢氣處理裝置，應(yīng)用于多晶硅生產(chǎn)硅粉輸送系統(tǒng)，利用該裝置可以使高壓料倉溢漏的氫氣通過氮?dú)獯祾甙踩欧牛乐箽錃膺M(jìn)入低壓硅粉系統(tǒng)，在硅粉輸送過程中，使硅粉輸送更加通暢，且回收了尾氣夾帶的的硅粉，起到了節(jié)能降耗降低生產(chǎn)成本的作用，極大地增加了系統(tǒng)的安全性和高效性。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種高低壓料倉管道廢氣處理裝置，包括：

一高壓料倉和一低壓料倉，所述高壓料倉和低壓料倉之間至少設(shè)置至少兩個(gè)盤閥，

一尾氣管道，所述尾氣管道一端連接一吹掃氮?dú)庋b置，另一端連接一高壓料倉過濾器，

所述高壓料倉過濾器分別通過一溢漏氫氣管道和一硅粉回流管道連接一高壓料倉，

還包括一高氫廢氣處理單元，所述高氫廢氣處理單元與所述高壓料倉過濾器相互連通。

在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述高壓料倉上還設(shè)置一高壓氫氣入口，高壓氫氣入口通入高壓氫氣為高壓料倉升壓。

在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述高壓料倉過濾器上還設(shè)置一高壓反吹氫氣入口。

通過上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是：

本實(shí)用新型可以使泄露的氫氣被氮?dú)獯祾咧吝^濾器，達(dá)到氫氣安全排放，回收廢氣中夾帶的硅粉循環(huán)利用，使系統(tǒng)生產(chǎn)運(yùn)行更加安全，有效地降低了生產(chǎn)成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。

參照?qǐng)D1，一種高低壓料倉管道廢氣處理裝置，包括：

一高壓料倉2和一低壓料倉1，高壓料倉2和低壓料倉1之間設(shè)置上盤閥4和下盤閥5，其中在上盤閥4和下盤閥5之間管路上設(shè)置一尾氣管道7，吹掃氮?dú)?通過一氮?dú)夤艿?01連接尾氣管道7，其中氮?dú)夤艿?01增設(shè)一電磁閥6，控制氮?dú)夤艿?01的通斷，尾氣管道7另一端連接一高壓料倉過濾器3，

高壓料倉過濾器3分別通過一溢漏氫氣管道301和一硅粉回流管道302連接一高壓料倉2，

還包括一高氫廢氣處理單元9，高氫廢氣處理單元9與高壓料倉過濾器3相互連通。

高壓料倉2上還設(shè)置一高壓氫氣入口201，高壓氫氣入口通入高壓氫氣11為高壓料倉2升壓，高壓料倉過濾器3上還設(shè)置一高壓反吹氫氣入口303，反吹氫氣10通過高壓反吹氫氣入口303進(jìn)入高壓料倉過濾器3。

系統(tǒng)工作流程：當(dāng)?shù)蛪毫蟼}1向高壓料倉（2）進(jìn)硅粉的時(shí)候，通過高壓料倉過濾器3泄壓，防止硅粉進(jìn)入高氫廢氣處理單元9，且硅粉進(jìn)入尾氣管道7，再到高壓料倉過濾器3，再到高壓料倉2，防止了硅粉進(jìn)入高氫廢氣處理單元，高壓反吹氫氣10反吹濾芯，回收了硅粉且使硅粉進(jìn)入高壓料倉通暢，管道不易堵塞：

當(dāng)高壓料倉2用高壓氫氣11升壓的時(shí)候，此時(shí)上盤閥4和下盤閥5為關(guān)閉狀態(tài)，由于高壓料倉大于低壓料倉1，從高壓料倉頂部溢漏的氫氣通過吹掃氮?dú)?吹掃至廢氣管道7，再進(jìn)入高壓料倉過濾器3，再到高氫廢氣處理單元9，防止了氫氣進(jìn)入低壓的硅粉干燥系統(tǒng)，并且回收的廢氣夾帶得得硅粉。

在原有高壓料倉和低壓料倉的管道上增加氮?dú)獯祾吖艿篮臀矚夤艿溃ㄟ^引入0.6MPa氮?dú)獾拇祾吆臀矚夥趴仗幚砉艿溃瑥母邏毫蟼}頂部溢漏的氫氣通過氮?dú)獾拇祾咚偷礁邏毫蟼}過濾器，再到高氫廢氣處理單元予以回收。