[實用新型]一種單晶熱場熱屏定位盤裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320570933.5 | 申請日： | 2013-09-13 |
| 公開（公告）號： | CN203546195U | 公開（公告）日： | 2014-04-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 高彬彬;王思鋒 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇聚能硅業(yè)有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/00 | 分類號： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京中譽威圣知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11279 | 代理人： | 張相午 |
| 地址： | 215228 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 單晶熱場熱屏 定位 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種單晶熱場熱屏定位盤裝置，包括定位盤（2），其特征在于：所述定位盤（2）上呈圓周均勻設(shè)置有三個與石墨螺絲（3）相匹配的定位孔（21），所述定位盤（2）底部卡套有與定位盤（2）底部相匹配的隔離裝置（1），所述隔離裝置（1）通過石墨螺絲（3）與定位盤（2）的定位孔（21）相固定連接；所述隔離裝置（1）采用高溫鉬制而成。?
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶熱場熱屏定位盤裝置，其特征在于：所述定位孔（21）的圓心與定位盤（2）的圓心之間的中心距（D）為315～320mm。?
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單晶熱場熱屏定位盤裝置，其特征在于：所述中心距（D）為317.5mm。?
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶熱場熱屏定位盤裝置，其特征在于：所述定位孔（21）的直徑為5mm。?
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