[實用新型]多級過濾裝置

有效

• 申請號: 201320559634.1
• 申請日: 2013-09-10
• 公開（公告）號: CN203469680U
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 王新陽;陳建榮;張繼友
• 申請（專利權）人: 冠銓（山東）光電科技有限公司
• 主分類號: B01D46/00
• 分類號: B01D46/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

?本實用新型屬于晶體生長設備技術領域，更具體的說是一種多級過濾裝置。

背景技術

目前，MOCVD作為一種LED外延片生產設備，其生產過程中將會產生一定量的廢氣，廢氣排出前，先經過濾車過濾處理，以免對環境造成污染，現有技術的過濾車內裝有濾芯，可對流經氣體進行過濾，現有技術的過濾車使用的GEN2濾芯成本較高，一次安裝需前后級濾芯各8支，使用數量相對較多，增加了生產成本，而且過濾容量較小、過濾效果較差，并且濾芯需頻繁更換，也同時影響了設備的正常運行，降低了設備的作業效率。

發明內容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種過濾容量較大、過濾效果較好、濾芯無需頻繁更換、可有效設備的作業效率的多級過濾裝置，其具體方案為：所述的多級過濾裝置由前蓋、檢修口、初級濾層、殼體、后蓋、排氣口、進氣口、排污口、一級濾芯、二級濾芯組成，其特征是殼體的外部前端設置前蓋，殼體的外部后端設置后蓋，前蓋的前端設置進氣口，后蓋的后端設置排氣口，殼體的內部前端設置初級濾層，初級濾層的內側設置一級濾芯，殼體的內部后端設置二級濾芯。

本實用新型所述的初級濾層，其特征在于初級濾層的上側設置檢修口，初級濾層的下側設置排污口，初級濾層的內部設置濾網，濾網的材質采用陶瓷或不銹鋼。

本實用新型所述的一級濾芯，其特征在于一級濾芯的材質采用纖維。

本實用新型所述的二級濾芯，其特征在于二級濾芯的材質采用濾紙。

本實用新型的有益效果是多級過濾裝置過濾容量較大，過濾效果較好，濾芯無需頻繁更換，可有效設備的作業效率，降低生產成本。

附圖說明

附圖1是本實用新型的結構示意圖；附圖1中：

1.?前蓋，2.?檢修口，3.?初級濾層，4.?殼體，5.?后蓋，6.?排氣口，7進氣口.，8.?排污口，9.?一級濾芯，10.?二級濾芯。

具體實施方式

結合附圖1對本實用新型進一步詳細描述，以便公眾更好地掌握本實用新型的實施方法，本實用新型具體的實施方案為：所述的多級過濾裝置由前蓋1、檢修口2、初級濾層3、殼體4、后蓋5、排氣口6、進氣口7、排污口8、一級濾芯9、二級濾芯10組成，其特征是殼體4的外部前端設置前蓋1，殼體4的外部后端設置后蓋5，前蓋1的前端設置進氣口7，后蓋5的后端設置排氣口6，殼體4的內部前端設置初級濾層3，初級濾層3的內側設置一級濾芯9，殼體4的內部后端設置二級濾芯10。

本實用新型所述的初級濾層3，其特征在于初級濾層3的上側設置檢修口2，初級濾層3的下側設置排污口8，初級濾層3的內部設置濾網，濾網的材質采用陶瓷或不銹鋼。

本實用新型所述的一級濾芯9，其特征在于一級濾芯9的材質采用纖維。

本實用新型所述的二級濾芯10，其特征在于二級濾芯10的材質采用濾紙。

本實用新型的有益效果是多級過濾裝置過濾容量較大，過濾效果較好，濾芯無需頻繁更換，可有效設備的作業效率，降低生產成本。