[實(shí)用新型]用于旋涂機(jī)的壓力檢測系統(tǒng)、罐體及旋涂機(jī)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320543082.5 | 申請日： | 2013-09-03 |
| 公開（公告）號： | CN203648806U | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 趙久嵩;甄宗沛;蘇云雷;安禮余 | 申請（專利權(quán)）人： | 和艦科技（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | B05C11/10 | 分類號： | B05C11/10;G01L19/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人： | 趙燕青 |
| 地址： | 215025 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 旋涂機(jī) 壓力 檢測 系統(tǒng) | ||
1.一種用于旋涂機(jī)的壓力檢測系統(tǒng)，所述旋涂機(jī)包括用于容納溶劑的罐體，其特征在于：?
所述壓力檢測系統(tǒng)包括：壓力檢測裝置和控制系統(tǒng)，?
其中，所述壓力檢測裝置包括附接至罐體的壓力傳感裝置，并用于檢測和判斷罐體的內(nèi)部壓力是否處于預(yù)定范圍內(nèi)；?
所述控制系統(tǒng)用于控制壓力檢測裝置的啟動，以及控制旋涂機(jī)的工作和停止。?
2.如權(quán)利要求1所述的壓力檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述控制系統(tǒng)包括計時單元，所述計時單元在罐體接收到工作電壓的同時接收一計數(shù)信號，并延時預(yù)定時間量后啟動壓力檢測裝置進(jìn)行檢測。?
3.如權(quán)利要求2所述的壓力檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述計時單元延遲的預(yù)定時間量為10秒。?
4.如權(quán)利要求1所述的壓力檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述控制系統(tǒng)還包括計數(shù)警報單元，所述計數(shù)警報單元用于接收所述壓力檢測裝置的判斷結(jié)果，并基于所述判斷結(jié)果控制旋涂機(jī)的工作和停止。?
5.如權(quán)利要求4所述的壓力檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述計數(shù)警報單元構(gòu)造為當(dāng)所述判斷結(jié)果為不滿足預(yù)定要求的情況并且達(dá)到預(yù)定數(shù)量時，所述計數(shù)警報單元發(fā)出警報。?
6.如權(quán)利要求5所述的壓力檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述計數(shù)警報單元設(shè)置為在整個旋涂過程結(jié)束后切換旋涂機(jī)停止并發(fā)出警報。?
7.一種用于旋涂機(jī)的罐體，其包括：?
用于容納用于旋涂機(jī)的溶劑的罐體，以及?
如權(quán)利要求1所述的用于旋涂機(jī)的壓力檢測系統(tǒng)。?
8.一種旋涂機(jī)，其包括：?
旋涂機(jī)臺，?
用于容納用于旋涂機(jī)的溶劑的罐體，以及?
如權(quán)利要求1所述的用于旋涂機(jī)的壓力檢測系統(tǒng)。?
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