[實用新型]真空高溫烘烤爐的放置臺面

有效

• 申請號: 201320531850.5
• 申請日: 2013-08-28
• 公開（公告）號: CN203429250U
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 孟祥好;夏友龍;孫統暢;孫益鵬
• 申請（專利權）人: 晶旺光電（徐州）有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 徐州支點知識產權代理事務所(普通合伙) 32244
• 代理人: 張榮亮

1.一種真空高溫烘烤爐的放置臺面，包括腔體內壁（1）、內隔熱層（2）和充壓孔（3），所述內隔熱層（2）位于腔體內壁（1）的內部，充壓孔（3）設置在腔體內壁（1）上部，其特征在于：穿過腔體內壁（1）與內隔熱層（2）的下部設置有下排氣孔（4），所述下排氣孔（4）連接外部排氣管道，所述排氣管道為T型管道，位于排氣管道的支路上分別設置有主抽閥（5）和小流量閥（7），且排氣管道上還分別設置有兩個側排氣孔（6），且其中一個側排氣孔（6）伸入到腔體內壁（1）內；位于內隔熱層（2）內部以及下排氣孔（4）的上方設置有加熱件（10），所述加熱件（10）的內部設置有石墨平臺（8），所述石墨平臺（8）上設置有石墨架（9）。

2.根據權利要求1所述的真空高溫烘烤爐的放置臺面，其特征在于：所述下排氣孔（8）的周圍設置有若干加強筋。

3.根據權利要求1或2所述的真空高溫烘烤爐的放置臺面，其特征在于：所述的加熱件（10）為石墨加熱件。