[實用新型]一種薄膜體聲波諧振器及一種濾波器、振蕩器、射頻模塊

有效

• 申請號: 201320526762.6
• 申請日: 2013-08-27
• 公開（公告）號: CN203416228U
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 朱欣恩
• 申請（專利權）人: 張家港恩達通訊科技有限公司
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H9/17
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 張建綱

1.一種薄膜體聲波諧振器，其特征在于，包括襯底層（1）和制備于所述襯底層（1）上的環形功能層（2）；所述環形功能層（2）包括沿遠離所述襯底層（1）方向設置的第一電極（201）、鐵電材料層（202）和第二電極（203）；所述襯底層（1）上開設空氣空腔（101），所述空氣空腔（101）橫向上面積大于所述環形功能層（2）外邊界所圍成的面積。

2.根據權利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述環形功能層（2）包括但不限于圓形環狀結構、方形環狀結構、多邊形環狀結構。

3.根據權利要求2所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述環形功能層（2）的內邊界和外邊界間的寬度為100nm-20um。

4.根據權利要求1-3中任一所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，還包括支持層（3），所述支持層（3）設置于所述襯底層（1）和所述環形功能層（2）之間。

5.根據權利要求4所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述支持層（3）為SiO₂層。

6.一種濾波器，包括權利要求1-5任一所述的薄膜體聲波諧振器。

7.一種振蕩器，包括權利要求1-5任一所述的薄膜體聲波諧振器。

8.一種射頻模塊，包括雙工器或多工器，所述雙工器或所述多工器中的薄膜體聲波諧振器采用權利要求1-5任一所述的薄膜體聲波諧振器。