[實用新型]一種實驗室氨氣等離子處理設備

有效

• 申請號: 201320517594.4
• 申請日: 2013-08-22
• 公開（公告）號: CN203540308U
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 袁煥春;袁向陽;張明豪
• 申請（專利權）人: 蘇州安科眾達凈化科技有限公司
• 主分類號: B01D53/32
• 分類號: B01D53/32
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 連平

1.一種實驗室氨氣等離子處理設備，其特征在于：它包括氨氣過濾裝置（6），所述氨氣過濾裝置（6）通過管道與增壓器（5）連接，所述增壓器（5）通過管道與流量計（4）連接，所述流量計（4）通過管道與流量調節閥（3）連接，所述流量調節閥（3）通過管道與等離體反應器（1）連接，在流量調節閥（3）和等離體反應器（1）之間的管道上設置有加熱器（2）。

2.根據權利要求1所述的一種實驗室氨氣等離子處理設備，其特征在于：等離體反應器（1）的結構包括高壓電極（11）和接地電極（17），所述高壓電極（11）和接地電極（17）分別與兩個平行設置的金屬電極板（19）連接，所述金屬電極板（19）安裝在反應器殼體（12）內，在接地極一側的反應器殼體（12）壁上開設氨氣進料口（15），在高壓極一側的反應器殼體（12）壁上開設裂解氣出料口（18）；阻擋介質板（14）的開孔位置與接地電極的金屬板面心相對。

3.根據權利要求2所述的一種實驗室氨氣等離子處理設備，其特征在于：反應器殼體(12)由保溫絕緣材料制得。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的一種實驗室氨氣等離子處理設備，其特征在于：離體反應器（1）中氨氣的流速為40ml/min。

5.根據權利要求1至3中任一項所述的一種實驗室氨氣等離子處理設備，其特征在于：離體反應器（1）中氨氣的溫度為390攝氏度。

6.根據權利要求2所述的一種實驗室氨氣等離子處理設備，其特征在于：金屬電極板（19）為不銹鋼。

7.根據權利要求2或6所述的一種實驗室氨氣等離子處理設備，其特征在于：兩平行設置的金屬電極板（19）之間的間距為3mm。