[實(shí)用新型]恒溫式熱水裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320480425.8
• 申請(qǐng)日: 2013-08-08
• 公開（公告）號(hào): CN203404957U
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 江玉麟;江泰豐;江新民
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中越有限公司
• 主分類號(hào): F24H1/10
• 分類號(hào): F24H1/10;F24H9/18;F24H9/20
• 代理公司: 北京天平專利商標(biāo)代理有限公司 11239
• 代理人: 孫剛

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型有關(guān)于一種熱水裝置，尤指一種恒溫式熱水裝置，可使輸出的流體達(dá)到更加穩(wěn)定的恒溫效果。

背景技術(shù)

按，近十幾年來(lái)，全球科技進(jìn)步速度與日遽增，除不斷提升科技產(chǎn)品的性能，更大力地改善產(chǎn)品的可攜性及精密度，因此，伴隨著積體電路的特征尺寸快速縮小，所需蝕刻率分布的均勻度亦隨之緊縮，以致于晶圓上的溫度變化則必須減至最低或消除，然而，若晶圓的溫度差過(guò)大，便會(huì)使得晶圓表面的積體電路，因晶圓本身膨脹收縮的物理原理，導(dǎo)致積體電路的斷裂，進(jìn)而提高晶圓的報(bào)廢率，其中，于半導(dǎo)體制程的條件中對(duì)于晶圓上的溫度變化有著直接影響關(guān)系，便是清洗步驟中清洗劑的流體溫度，因此，為滿足此種迫切需求所構(gòu)思的制程條件，則須開發(fā)出可減少溫度誤差的恒溫設(shè)備。

習(xí)知的恒溫?zé)崴b置，其包括有：一熱交換器，其內(nèi)部設(shè)置一連續(xù)彎曲的加熱管，并于熱交換器的兩側(cè)設(shè)有一入水口及一出水口，而入水口可供一常溫流體流入，加熱管可供一熱源，其中，常溫流體經(jīng)由接觸加熱管的外側(cè)進(jìn)行熱量交換，并流出于出水管形成一恒溫流體，藉由溫度控制器調(diào)整固定常溫流體與恒溫流體的溫度差。

上述先前技術(shù)對(duì)于實(shí)用性及利用性上仍尚欠不足，并具有以下二點(diǎn)缺點(diǎn)存在，其一者，此種恒溫?zé)崴b置僅裝設(shè)一組，容易導(dǎo)致恒溫不夠完全，當(dāng)面臨大型的半導(dǎo)體工廠，于僅有一組熱交換器的配置下，可搭配性較低，且其流通路徑較短，使得流體穩(wěn)定溫度的時(shí)間較為不足，將無(wú)法符合準(zhǔn)確恒溫的效果，另一者，此種恒溫方式僅使常溫流體接觸于加熱管的外側(cè)，藉以產(chǎn)生熱交換的現(xiàn)象，然而，習(xí)知的恒溫?zé)崴b置并無(wú)針對(duì)內(nèi)部進(jìn)行特別設(shè)計(jì)，流體流動(dòng)的模式通常屬于層流，流體間質(zhì)點(diǎn)互相平行，較不互相干擾，使得溫度傳遞不夠迅速。

因此，如何開發(fā)出一種具有恒溫效果的熱水裝置，以加強(qiáng)流體流動(dòng)的溫度穩(wěn)定性，加強(qiáng)縮短溫度值誤差，以運(yùn)用于現(xiàn)今高精密度需求的半導(dǎo)體制程的清洗步驟，是本實(shí)用新型人所欲改良的問(wèn)題所在。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于，提供一種恒溫式熱水裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，通過(guò)兩組熱交換器的設(shè)置，并搭配偵測(cè)回流的方式，達(dá)到較高的溫度穩(wěn)定性。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型一種恒溫式熱水裝置，其連接一流通一常溫流體的第一管路，其特征在于包括有：

一第一熱交換器，其內(nèi)部具有數(shù)個(gè)第一擾流板，而該第一熱交換器分別連接于該第一管路及一連通管，使該常溫流體自該第一管路流經(jīng)該第一熱交換器形成一第一恒溫流體，并輸入于該連通管；

一第二熱交換器，其內(nèi)部具有數(shù)個(gè)第二擾流板，而該第二熱交換器分別連接于該連通管及一第二管路，使該第一恒溫流體自該連通管流經(jīng)該第二熱交換器形成一第二恒溫流體，并輸入于該第二管路；以及

一單向管，其連接設(shè)置于該第一管路及該第二管路之間，供該第二恒溫流體以選擇性的方式經(jīng)由該單向管再度流入該第一熱交換器。

其中，該些第一擾流板以對(duì)向間隔的方式設(shè)置于該第一熱交換器。

其中，該些第二擾流板以對(duì)向間隔的方式設(shè)置于該第二熱交換器。

其中，該第二管路的流通路徑上設(shè)有一設(shè)定一溫度穩(wěn)定值的溫度感測(cè)器。

其中，該單向管的流通路徑上設(shè)有一與該溫度感測(cè)器電性連通的單向閥。

其中，該第一熱交換器及該第二熱交換器分別設(shè)有一將該第一熱交換器及該第二熱交換器內(nèi)部產(chǎn)生的高壓氣體進(jìn)行排氣處理的排氣閥。

其中，該第一熱交換器及該第二熱交換器分別設(shè)有一分別調(diào)控該第一熱交換器及該第二熱交換器內(nèi)部溫度值的溫控器。

其中，該第一管路及該第二管路分別設(shè)有一入水閥及一出水閥。

其中，該連通管的流通路徑上設(shè)有一使該第一恒溫流體進(jìn)入該第二熱交換器的馬達(dá)。

藉由上述，本實(shí)用新型達(dá)成功效之一，其中，藉由第一熱交換器及第二熱交換器的設(shè)置下，可搭配性提高，不僅限于單一熱交換器的單出單入，且拖長(zhǎng)其流體的流通路徑，可供增加流體穩(wěn)定溫度的時(shí)間，以達(dá)成準(zhǔn)確恒溫的效果。

藉由上述，本實(shí)用新型達(dá)成功效之二，其中，利用將第一擾流板及第二擾流板分別以對(duì)向間隔的方式設(shè)置于第一熱交換器及第二熱交換器，使流體流入于第一熱交換器及第二熱交換器可產(chǎn)生擾流現(xiàn)象，除可向前流動(dòng)外，且分裂成許多渦流，并與側(cè)邊的流體互相混合，可使得溫度傳遞較為迅速，均勻擴(kuò)散于流體的整體。