[實(shí)用新型]一種用于固定高斯計的治具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320478199.X
• 申請日: 2013-08-07
• 公開（公告）號: CN203365660U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郝懷慶
• 申請（專利權(quán)）人: 南昌歐菲光科技有限公司
• 主分類號: G01R33/07
• 分類號: G01R33/07
• 代理公司: 南昌新天下專利商標(biāo)代理有限公司 36115
• 代理人: 施秀瑾

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種用于固定高斯計的治具，屬于磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

目前，隨著磁控濺射技術(shù)的迅速發(fā)展，對磁控濺射鍍膜機(jī)的保養(yǎng)和性能監(jiān)測十分必要。用高斯計測量靶材表面的磁場，便于累積觀察磁場有無變化，防止對生產(chǎn)造成影響；高斯計是根據(jù)霍爾效應(yīng)原理進(jìn)行磁場測量的，霍爾傳感器作為磁感應(yīng)元件做成探頭，但是在測量時即使是同一點(diǎn)測量，由于人的因素往往會造成測量出現(xiàn)差錯。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服上述缺陷，本實(shí)用新型的目的在于提供一種測量精確，誤差率低的用于固定高斯計的治具。

?為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種用于固定高斯計的治具，它包括探頭元件放置塊、支撐塊、上半部分螺絲孔、探頭元件放置孔和下半部分螺絲孔，支撐塊位于探頭元件放置塊的下方，用于支撐探頭元件放置塊，上半部分螺絲孔與下半部分螺絲孔通過螺絲連接。

所述上半部分螺絲孔與下半部分螺絲孔的螺絲連接方式為鋁制螺絲或者不導(dǎo)磁材料螺絲連接。上半部分螺絲孔與下半部分螺絲孔主要作用是固定探頭元件放置塊與支撐塊。

探頭元件放置塊材質(zhì)需要較高的機(jī)械強(qiáng)度和良好的絕緣性，優(yōu)選電木，主要作用是為高斯計探頭提供水平放置區(qū)；支撐塊材質(zhì)需要較高的機(jī)械強(qiáng)度和良好的絕緣性，優(yōu)選電木。

本實(shí)用新型的有益效果：

本實(shí)用新型可有效保證測量的準(zhǔn)確性，且具有操作簡便，穩(wěn)定性高，不影響測量效果等特點(diǎn)。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型在測量靶材表面磁場時示意圖。

圖3為本實(shí)用新型的俯視示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖1、2、3對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明：

一種用于固定高斯計的治具，它包括探頭元件放置塊1、支撐塊2、上半部分螺絲孔3、探頭元件放置孔4和下半部分螺絲孔5，支撐塊2位于探頭元件放置塊1的下方，用于支撐探頭元件放置塊1，上半部分螺絲孔3與下半部分螺絲孔5通過螺絲連接。

所述上半部分螺絲孔3與下半部分螺絲孔5的螺絲連接方式為鋁制螺絲或者不導(dǎo)磁材料螺絲連接。

所述上半部分螺絲孔與下半部分螺絲孔的螺絲連接方式為鋁制螺絲或者不導(dǎo)磁材料螺絲連接。上半部分螺絲孔與下半部分螺絲孔主要作用是固定探頭元件放置塊與支撐塊。

探頭元件放置塊材質(zhì)需要較高的機(jī)械強(qiáng)度和良好的絕緣性，優(yōu)選電木，主要作用是為高斯計探頭提供水平放置區(qū)；支撐塊材質(zhì)需要較高的機(jī)械強(qiáng)度和良好的絕緣性，優(yōu)選電木。

如圖2，靶材7為磁控濺射的重要原材料，靶材7綁定在銅背板6上，由于靶材在工作時表面溫度很高需要冷卻，而銅的導(dǎo)熱性很好，一般將靶材7制作在銅背板6上，便于散熱，靶材7和銅背板6組合成平面靶材最常見形式。高斯計8為示意圖，用高斯計8測量磁場強(qiáng)度時探頭必須要垂直于靶材7表面。探頭元件放置塊1為保證測量點(diǎn)的準(zhǔn)確性需要與靶材表面平行放置，探頭元件放置塊1在需根據(jù)高斯計8探頭元件的尺寸選擇厚度，目的是保證高斯計8探頭垂直于靶材表面。支撐塊2通過鋁制螺絲或是不導(dǎo)磁螺絲與探頭元件放置塊1連接到一起，上半部分螺絲孔3與下半部分螺絲孔5是螺絲的連接位置。此實(shí)用新型不僅限于此，探頭元件放置塊1和支撐塊2可以為一整體。支撐塊2下部與靶材7中間無材料部分相比寬度略小，以滿足剛好卡住支撐塊2下部為最佳。探頭元件放置孔4主要作用是卡住高斯計8，探頭元件放置孔4的位置排列要均勻，探頭元件放置孔4的個數(shù)根據(jù)需要進(jìn)行加工。