[實用新型]四甲基氫氧化銨提濃裝置

有效

• 申請號: 201320478080.2
• 申請日: 2013-08-06
• 公開（公告）號: CN203545915U
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 梁小朝;黃源;尹云艦;高立江;胡叔銘
• 申請（專利權）人: 杭州格林達化學有限公司
• 主分類號: C07C211/63
• 分類號: C07C211/63;C07C209/84;B01D61/44;C02F9/06
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 王利強

技術領域

本實用新型涉及一種四甲基氫氧化銨提濃裝置。

背景技術

電子級四甲基氫氧化銨（Tetramethyl?Ammonium?Hydroxide,TMAH）用于顯示面板（FDP）和半導體芯片生產過程中的顯影液，是用量最大的電子化學品之一。一般使用后的顯影液廢水中除了TMAH之外，還有光刻膠以及各種低濃度的金屬離子雜質。由于TMAH是一種腐蝕性化學品，因此經過廢水處理方能排放。目前顯示面板和半導體芯片生產廠家一般采用中和，稀釋以達到排放標準。如此廢液處理成本高，另一方面TMAH是一類含氮物質，容易造成富營養化污染等環境負擔，而且TMAH廢液進行處理后排放無法實現循環利用，從而使制造者的制造成本無法降低。

臺灣第98114596號專利提供了一種TMAH回收裝置能夠有效移除光刻膠，但無法除去其中的其他雜質；CN101993380中通過納濾裝置和樹脂相結合進行TMAH回收，但該裝置需要耐堿性的納濾膜，而且需要更換頻繁成本高。但是由于回收的TMAH濃度小于實際使用濃度，因此需要將TMAH進行濃縮。專利CN202983247采用蒸發的方式進行提濃，但需要消耗大量熱能，而且TMAH在加熱過程中會有部分分解。

發明內容

為了克服已有四甲基氫氧化銨提濃裝置的能耗較大、無法回收再生水的不足,本實用新型提供了一種降低能耗、提濃同時回收再生水的四甲基氫氧化銨提濃裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種四甲基氫氧化銨提濃裝置，包括廢液槽、過濾裝置和電滲析裝置，所述廢液槽包括吸附劑進口和廢液進口，所述廢液槽的出口通過連接管與所述過濾裝置的進口連接，所述過濾裝置的上部設有吸附劑出口，所述過濾裝置的底部設有液體出口，所述電滲析裝置包括外殼，所述外殼內配置成對的陰陽離子交換膜，所述成對的陰陽離子交換膜之間的腔室為濃縮腔體，所述濃縮腔體相鄰的兩側均為進液腔體，所述液體出口與所述進液腔體連通，所述濃縮腔體與提濃液儲槽連通。

進一步，將所述成對的陰陽離子交換膜有至少兩對，至少兩對陰陽離子交換膜并排布置。

更進一步，所述連接管上安裝泵。

本實用新型的有益效果主要表現在：充分利用電滲析原理，保證了TMAH的提濃，而且結構簡單，可連續生產，易于推廣實用。

附圖說明

圖1是四甲基氫氧化銨提濃裝置的示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步描述。

參照圖1，一種四甲基氫氧化銨提濃裝置，包括廢液槽1、過濾裝置3和電滲析裝置4，所述廢液槽1包括吸附劑進口和廢液進口，所述廢液槽1的出口通過連接管與所述過濾裝置3的進口連接，所述過濾裝置3的上部設有吸附劑出口，所述過濾裝置3的底部設有液體出口，所述電滲析裝置包括外殼，所述外殼內配置成對的陰陽離子交換膜5、6，所述成對的陰陽離子交換膜5、6之間的腔室為濃縮腔體8，所述濃縮腔體的相鄰兩側均為進液腔體7，所述液體出口與所述進液腔體7連通，所述濃縮腔體8與提濃液儲槽連通。

進一步，將所述成對的陰陽離子交換膜有至少兩對，至少兩對陰陽離子交換膜并排布置。所述連接管上安裝泵2。

本實施例中，廢液槽1，用于存儲廢液，同時用于添加吸附劑；

過濾裝置3，用于過濾廢液，在這過程中配置泵，用于吸濾；

所得溶液進入電滲析裝置4，在電滲析裝置中配有多對陰陽離子交換膜各層多個腔室，在電場作用下陰陽離子通過離子膜進入濃縮腔室。濃縮液進入提濃液儲槽。

所述過濾裝置3中，濾芯位于過濾裝置的中部，過濾裝置的上部出口為固體出口，過濾裝置的下部出口為液體出口。

如圖1所示，廢液槽1接收存儲TMAH廢液，其中加入定量吸附劑如活性炭等，吸附完全后通過過濾裝置3實現固液分離，所得溶液進入電滲析裝置4，在電滲析裝置中配有多對陰陽離子交換膜5，6（陰離子交換膜5、陽離子交換膜6）；隔成多個腔室：進液腔室7和濃縮腔室8。在電場作用下陰陽離子選擇通過，在濃縮腔室內濃縮，提濃溶液進入儲槽。