[實用新型]利用乙醇蒸汽輔助半導體/面板生產中有機廢氣回收裝置有效
| 申請號： | 201320449477.9 | 申請日： | 2013-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN203425677U | 公開（公告）日： | 2014-02-12 |
| 發明（設計）人： | 梁小朝;黃源;尹云艦;連杰;龔升 | 申請（專利權）人： | 杭州格林達化學有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/00 | 分類號： | B01D53/00 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241 | 代理人： | 王利強 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州市蕭*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 利用 乙醇 蒸汽 輔助 半導體 面板 生產 有機 廢氣 回收 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種利用乙醇蒸汽輔助半導體/面板生產中有機廢氣回收裝置，其特征在于：所述有機廢氣回收裝置包括除水器、乙醇蒸發器、回收塔和乙醇吸收裝置，所述回收塔自上而下依次設置除霧層、吸收液噴灑層、吸收層和回收槽，所述除水器的進口為有機廢氣入口，所述除水器的出口、乙醇蒸發器的出口均與所述吸收層連通，所述回收塔的上部的出氣口與所述乙醇吸收裝置連接，所述回收槽的底部與排出管連接，所述排出管上安裝閥門。
2.如權利要求1所述的利用乙醇蒸汽輔助半導體/面板生產中有機廢氣回收裝置，其特征在于：所述乙醇吸收裝置的出液口與蒸餾塔連接。
3.如權利要求1或2所述的利用乙醇蒸汽輔助半導體/面板生產中有機廢氣回收裝置，其特征在于：所述回收槽的下部設有引流管，所述引流管的上端與所述吸收液噴灑層連通，所述引流管內安裝循環泵。
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