[實用新型]半導體/面板廠有機廢氣凈化的裝置有效
| 申請號: | 201320448115.8 | 申請日: | 2013-07-24 |
| 公開(公告)號: | CN203425693U | 公開(公告)日: | 2014-02-12 |
| 發明(設計)人: | 梁小朝;黃源;尹云艦;連杰;龔升 | 申請(專利權)人: | 杭州格林達化學有限公司 |
| 主分類號: | B01D53/22 | 分類號: | B01D53/22;B01D5/00 |
| 代理公司: | 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241 | 代理人: | 王利強 |
| 地址: | 310051 浙江省杭州市蕭*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體 面板 有機 廢氣 凈化 裝置 | ||
1.一種半導體/面板廠有機廢氣凈化的裝置,其特征在于:包括除水器、壓縮器、膜分離器和冷凝器,所述除水器的進口為有機廢氣入口,所述除水器的出口與所述壓縮器的進口連通,所述壓縮器的出口與所述膜分離器的進口連通,所述膜分離器包括空氣出口和廢氣出口,所述膜分離器的廢氣出口與所述冷凝器的入口連接,所述冷凝器的出口與循環管連通,所述循環管的另一端與所述壓縮器的進口連通。
2.如權利要求1所述的半導體/面板廠有機廢氣凈化的裝置,其特征在于:所述冷凝器的下方布置接收器,所述接收器的下方安裝排出管,所述排出管上安裝閥門。
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