[實(shí)用新型]金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320432957.4
• 申請(qǐng)日: 2013-07-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203382817U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡兵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 胡兵
• 主分類號(hào): C23C16/18
• 分類號(hào): C23C16/18
• 代理公司: 北京潤(rùn)澤恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11319
• 代理人: 黃海霞

1.一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積裝置，包括反應(yīng)腔、設(shè)置于所述反應(yīng)腔頂部的氣體噴淋組件，和與所述氣體噴淋組件相對(duì)設(shè)置的基座，所述反應(yīng)腔的頂壁上設(shè)置有至少一個(gè)光學(xué)透窗，所述氣體噴淋組件上與所述光學(xué)透窗相對(duì)設(shè)置有通孔，所述通孔的面積遠(yuǎn)大于所述氣體噴淋組件的排氣孔的面積，其特征在于，所述光學(xué)透窗的邊緣設(shè)置有進(jìn)氣通路，用以向所述通孔內(nèi)通入吹掃氣體，所述吹掃氣體與所述通孔相鄰的所述排氣孔排出的氣體相同。?

2.如權(quán)利要求1所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述通孔靠近所述光學(xué)透窗的一端設(shè)置有一環(huán)形管路，所述環(huán)形管路與所述進(jìn)氣通路連通，用以收容所述吹掃氣體，所述環(huán)形管路的外表面具有多個(gè)第二排氣孔，用以將所述吹掃氣體排入所述通孔內(nèi)。?

3.如權(quán)利要求1所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述排氣孔包括A型排氣孔和B型排氣孔，所述A型排氣孔用于排出含III族金屬有機(jī)源氣體，所述B型排氣孔用于排出含V族氫化物源氣體，所述吹掃氣體為含III族金屬有機(jī)源氣體或含V族氫化物源氣體。?

4.如權(quán)利要求3所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述通孔與所述B型排氣孔相鄰，所述吹掃氣體的組分與所述B型排氣孔排出的氣體的組分相同。?

5.如權(quán)利要求4所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述V族氫化物源為氨氣，所述吹掃氣體為分子量較大的氣體和氨氣的混合氣體。?

6.如權(quán)利要求5所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述吹掃氣體為氮?dú)夂桶睔獾幕旌蠚怏w。?

7.如權(quán)利要求5或6中任一項(xiàng)所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述吹掃氣體中的氨氣極大過(guò)量。?

8.如權(quán)利要求2所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述第二排氣孔在所述環(huán)形管路的外表面上散亂分布，用以使所述第二排氣孔排出?的所述吹掃氣體的氣流方向呈多樣化分布。?

9.如權(quán)利要求1所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述光學(xué)透窗的材質(zhì)為石英玻璃。?