[實用新型]采用中頻感應加熱的擴散爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320412106.3
• 申請日: 2013-07-11
• 公開（公告）號: CN203367244U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設計）人: 杜鵬程;陸利新;謝亞勝;丁飛
• 申請（專利權(quán)）人: 上海大學
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;F27D11/06;F27D19/00
• 代理公司: 上海上大專利事務所(普通合伙) 31205
• 代理人: 何文欣

1.一種采用中頻感應加熱的擴散爐，包括擴散爐管（3）、加熱控制器和熱電偶（5），其特征在于：在所述擴散爐管（3）外圍緊密地套上一層耐高溫不銹鋼管（2），在所述耐高溫不銹鋼管（2）外圍再緊密地套上絕緣隔熱筒（1），在所述絕緣隔熱筒（1）外部繞有加熱感應線圈（4），所述加熱感應線圈（4）在中頻感應電源的作用下產(chǎn)生高速變化的磁場，在高速變化的磁場作用下，所述耐高溫不銹鋼管（2）的管壁內(nèi)部產(chǎn)生渦流并感應生成熱能，熱能再傳導于所述擴散爐管（3）上，從而實現(xiàn)對擴散爐的加熱，所述加熱感應線圈（4）和在所述擴散爐管（3）內(nèi)設置的一系列所述熱電偶（5）通過總線連接到中頻電源控制柜（6）上，所述中頻電源控制柜（6）通過接收一系列熱電偶（5）的反饋信號，調(diào)節(jié)所述加熱感應線圈（4）中的電流以改變磁場，進而改變所述耐高溫不銹鋼管（2）的發(fā)熱狀態(tài)，從而實現(xiàn)對所述擴散爐管（3）內(nèi)溫度的控制。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用中頻感應加熱的擴散爐，其特征在于：所述加熱感應線圈（4）分段繞在所述絕緣隔熱筒（1）上，在不同段的所述加熱感應線圈對應的所述擴散爐管（3）內(nèi)相應分布設置不同的熱電偶（5），以測所述擴散爐管（3）相應區(qū)段內(nèi)的溫度，各段加熱感應線圈（4）和各個所述熱電偶（5）分別通過總線連接到所述中頻電源控制柜（6）上，在所述中頻電源控制柜（6）的控制下，各段加熱感應線圈（4）內(nèi)腔中分別產(chǎn)生各自對應的高速變化的磁場，使所述耐高溫不銹鋼管（2）內(nèi)部分段產(chǎn)生渦流并分段高速發(fā)熱，以實現(xiàn)對整一個擴散爐的加熱，所述中頻電源控制柜（6）接收所述擴散爐管（3）內(nèi)各熱電偶（5）的溫度信號反饋，調(diào)節(jié)各段加熱感應線圈（4）中的電流以改變各段加熱感應線圈（4）內(nèi)的磁場，從而改變各段所述耐高溫不銹鋼管（2）的發(fā)熱狀態(tài)，以實現(xiàn)對所述擴散爐管（3）內(nèi)溫度的控制，使所述擴散爐管（3）內(nèi)形成一段穩(wěn)定的恒溫區(qū)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的采用中頻感應加熱的擴散爐，其特征在于：分段繞在絕緣隔熱筒（1）上的加熱感應線圈（4）的段數(shù)為3～10段。