[實(shí)用新型]多晶硅尾氣回收系統(tǒng)中氫氣的連續(xù)吸附再生裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320396439.1
• 申請(qǐng)日: 2013-07-04
• 公開（公告）號(hào): CN203333287U
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王志杰;時(shí)加林;韓禎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山西潞安礦業(yè)（集團(tuán)）有限責(zé)任公司;北洋國(guó)家精餾技術(shù)工程發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): C01B3/56
• 分類號(hào): C01B3/56
• 代理公司: 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 12201
• 代理人: 王麗

1.一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)中連續(xù)吸附塔再生裝置，包括兩個(gè)交替使用的吸附塔，兩組電加熱器，氮?dú)饫鋮s器，廢氣冷卻器，尾氣進(jìn)氣管，純氫出氣管，氮?dú)馊霘夤埽瑥U氣出氣管，氫氣壓縮機(jī)；其特征是：兩個(gè)吸附塔頂部均分別設(shè)置兩個(gè)進(jìn)氣口和一個(gè)出氣口，兩個(gè)進(jìn)氣口通過(guò)管路分別與并聯(lián)的電加熱器、氮?dú)饫鋮s器出氣口相連，兩個(gè)并聯(lián)裝置進(jìn)氣口分別與氮?dú)馊霘夤芟噙B；兩吸附塔頂部出氣口通過(guò)管路與純氫出氣管連接，并通過(guò)氫氣回流管與氫氣壓縮機(jī)相連，氫氣壓縮機(jī)出氣口與氮?dú)馊霘夤苓B接；吸附塔的塔釜也分別設(shè)置一個(gè)進(jìn)氣口和兩個(gè)出氣口，進(jìn)氣口與尾氣進(jìn)氣管連接，兩個(gè)出氣口與串聯(lián)的廢氣電加熱器、廢氣冷卻器連接，串聯(lián)的廢氣電加熱器、廢氣冷卻器與廢氣出氣管連接。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是每個(gè)吸附塔設(shè)置對(duì)應(yīng)的閥門，包括一塔尾氣進(jìn)氣閥和二塔尾氣進(jìn)氣閥，一塔純氫出氣閥和二塔純氫出氣閥，一塔氮?dú)膺M(jìn)氣冷閥、一塔氮?dú)膺M(jìn)氣熱閥、二塔氮?dú)膺M(jìn)氣冷閥和二塔氮?dú)膺M(jìn)氣熱閥，一塔廢氣出氣冷閥、一塔廢氣出氣熱閥、二塔廢氣出氣冷閥和二塔廢氣出氣熱閥。

3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征是：尾氣進(jìn)氣管分別與第一吸附塔、第二吸附塔塔底的一塔尾氣進(jìn)氣閥、二塔尾氣進(jìn)氣閥連接，第一吸附塔、第二吸附塔塔頂?shù)囊凰儦涑鰵忾y、二塔純氫出氣閥分別與純氫出氣管連接；純氫出氣管通過(guò)氫氣回流管與氫氣壓縮機(jī)相連，氫氣壓縮機(jī)出氣口與氮?dú)馊霘夤苓B接；氮?dú)馊霘夤芘c并聯(lián)的氮?dú)怆娂訜崞骱偷獨(dú)饫鋮s器進(jìn)氣口分別相連，氮?dú)怆娂訜崞鞒鰵饪谂c兩個(gè)吸附塔塔頂?shù)囊凰獨(dú)膺M(jìn)氣熱閥、二塔氮?dú)膺M(jìn)氣熱閥分別通過(guò)管路相連，氮?dú)饫鋮s器出氣口與一塔氮?dú)膺M(jìn)氣冷閥、二塔氮?dú)膺M(jìn)氣冷閥通過(guò)管路分別相連；兩個(gè)吸附塔的塔底一塔廢氣出氣冷閥和二塔廢氣出氣冷閥并聯(lián)，一塔廢氣出氣熱閥和二塔廢氣出氣熱閥并聯(lián)，然后一塔廢氣出氣冷閥、二塔廢氣出氣冷閥、一塔廢氣出氣熱閥、二塔廢氣出氣熱閥的管路與廢氣電加熱器連接；電加熱器和廢氣冷卻器與廢氣出氣管串聯(lián)連接。