[實(shí)用新型]鍍膜腔用隔板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320386215.2
• 申請日: 2013-07-01
• 公開（公告）號: CN203346469U
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐少東
• 申請（專利權(quán)）人: 南昌歐菲光科技有限公司;深圳歐菲光科技股份有限公司;蘇州歐菲光科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種鍍膜腔用隔板。?

背景技術(shù)

卷繞式真空鍍膜技術(shù)因具有生產(chǎn)效率高等優(yōu)點(diǎn)而廣泛用于生產(chǎn)各種柔性功能薄膜，如ITO透明導(dǎo)電薄膜的生產(chǎn)。?

卷繞式真空鍍膜設(shè)備通常包括鍍膜輥以及環(huán)繞鍍膜輥周圍設(shè)置的若干鍍膜腔，鍍膜輥與鍍膜腔之間設(shè)有一隔板，隔板的中部設(shè)有一窗口，鍍膜腔與窗口正對的部位上設(shè)有靶材。在以柔性基材為基底進(jìn)行鍍膜時，柔性基材的一側(cè)繞設(shè)于鍍膜輥上，并在外力的作用下滑過鍍膜輥，而柔性基材的另一側(cè)與隔板貼近或貼合。鍍膜時，鍍膜腔內(nèi)產(chǎn)生大量高能粒子，高能粒子轟擊靶材而將靶材濺射到基底上形成鍍層。同時，部分高能粒子撞擊隔板的兩端。隨著鍍膜過程的持續(xù)，隔板的兩端的溫度持續(xù)升高，同時由于傳統(tǒng)的隔板的兩端為單層金屬結(jié)構(gòu)，熱量容易傳導(dǎo)至與隔板貼近或貼合的柔性基材上，導(dǎo)致柔性基材受熱卷曲，得到質(zhì)量較低的柔性功能薄膜。?

實(shí)用新型內(nèi)容

基于此，有必要提供一種能有效減少熱量傳導(dǎo)至柔性基材上的鍍膜腔用隔板。?

一種鍍膜腔用隔板，包括U型槽板、第一折邊、第二折邊、第一擋板及第二擋板；?

所述U型槽板的槽底的中部設(shè)有貫穿所述槽底的窗口；?

所述第一折邊及所述第二折邊分別與所述U型槽板的兩側(cè)壁的頂部連接；?

所述第一擋板及所述第二擋板均橫跨于所述U型槽板且均與所述第一折邊及所述第二折邊連接。?

在其中一個實(shí)施例中，所述第一擋板及所述第二擋板靠近所述窗口的邊緣?分別與所述窗口的兩端的邊緣正對。?

在其中一個實(shí)施例中，所述第一擋板及所述第二擋板遠(yuǎn)離所述窗口的邊緣均位于所述U型槽板的兩端的端緣之間。?

在其中一個實(shí)施例中，所述第一擋板及所述第二擋板為鋁壓鑄而成，所述U型槽板、所述第一折邊及所述第二折邊為鋁壓鑄一體成型。?

在其中一個實(shí)施例中，所述鍍膜腔用隔板還包括相對設(shè)置的第一防滑塊及第二防滑塊，所述第一防滑塊及所述第二防滑塊分別設(shè)于所述第一折邊及所述第二折邊上，并分別鄰近對應(yīng)的第一折邊或第二折邊的一端。?

在其中一個實(shí)施例中，所述U型槽板的槽底與所述第一擋板及所述第二擋板之間的間隔距離為10～100毫米。?

在其中一個實(shí)施例中，所述U型槽板的槽底上設(shè)有加強(qiáng)筋，所述加強(qiáng)筋的兩端分別與所述U型槽板的兩側(cè)壁連接。?

上述鍍膜腔用隔板相對與傳統(tǒng)的隔板，其在窗口的兩端設(shè)有橫跨U型槽板的第一擋板及第二擋板，從而使得本應(yīng)打在U型槽板的槽底上的高能粒子打在第一擋板及第二擋板上。而且U型槽板具有一定的深度，從而使得第一擋板及第二擋板與U型槽板的槽底之間存在間隔距離，在真空環(huán)境下，熱量從第一擋板及第二擋板上傳導(dǎo)至槽底上的速度很慢，從而使得槽底的溫度不會很高，進(jìn)而能有效減少由槽底傳導(dǎo)至柔性基材上的熱量，柔性基材不會因高溫受熱卷曲，從而能得到質(zhì)量較高的柔性功能薄膜。?

附圖說明

圖1為一實(shí)施方式的鍍膜腔用隔板的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖2為圖1中的鍍膜腔用隔板中的本體的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖3為圖1中的鍍膜腔用隔板的左視圖；?

圖4為圖1中的鍍膜腔用隔板在鍍膜腔中的工作狀態(tài)圖。?

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對鍍膜腔用隔板進(jìn)行進(jìn)一步的說明。?

如圖1及圖2所示，一實(shí)施方式的鍍膜腔用隔板10，包括本體100、第一擋板200以及第二擋板300，其中，本體100包括U型槽板110、第一折邊120及第二折邊130。?

U型槽板110包括槽底112及兩側(cè)壁，槽底112的中部設(shè)有貫穿槽底112的窗口114。在本實(shí)施方式中，窗口114為長方形。通常情況下，在鍍膜腔的尺寸允許的條件下，窗口114的長（柔性基材20移動的方向）可以盡量的大，而窗口114的寬通常需要根據(jù)柔性基材20需要鍍膜的區(qū)域的寬來確定。可以理解，在其他實(shí)施方式中，窗口114也可以為其他形狀，如梯形。?

在本實(shí)施方式中，還在U型槽板110的槽底112上設(shè)有加強(qiáng)筋116，加強(qiáng)筋116的兩端分別與U型槽板110的兩側(cè)壁連接，從而使得U型槽板110更牢固，不易變形。?

第一折邊120及第二折邊130分別與U型槽板110的兩側(cè)壁的頂部連接。在本實(shí)施方式中，U型槽板110、第一折邊120及第二折邊130采用鋁壓鑄一體成型的方式得到本體100。第一折邊120及第二折邊130與鍍膜腔中的卡槽相匹配，以便使鍍膜腔用隔板10能夠自鍍膜腔的一端沿卡槽滑入并固定于鍍膜腔中。?