[實用新型]垂直霍爾效應器件以及垂直霍爾效應傳感器

有效

• 申請號: 201320376729.X
• 申請日: 2013-06-27
• 公開（公告）號: CN203630326U
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 烏多·奧塞爾勒基納;馬里奧·莫茨
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G01R33/07
• 分類號: G01R33/07;H01L43/06
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種垂直霍爾效應傳感器，設置在半導體基板上，包括：?

第一導電霍爾效應區域，被布置在所述半導體基板的表面之下；?

至少兩個電源端子，被布置為向所述第一導電霍爾效應區域供應電能；?

至少一個霍爾信號端子，被布置為提供來自所述第一導電霍爾效應區域的第一霍爾信號，所述第一霍爾信號指示與所述半導體基板的表面平行并且作用在所述第一導電霍爾效應區域上的磁場；?

其中，所述至少兩個電源端子中的一個或多個或所述至少一個霍爾信號端子中的一個或多個包括施加觸點和感測觸點；以及?

反饋控制電路，包括：?

輸出端，連接至所述施加觸點并且具有第一阻抗，?

輸入端，其連接至所述感測觸點并且具有第二阻抗，所述第二阻抗高于所述第一阻抗，以及?

反饋回路，調節所述反饋控制電路的所述輸出端上的電位，直到所述反饋控制電路的所述輸入端上的電位等于參考電位。?

2.根據權利要求1所述的垂直霍爾效應傳感器，其中，所述參考電位為預定參考電位。?

3.根據權利要求1所述的垂直霍爾效應傳感器，其中，所述參考電位對應于在感測觸點上測量的電位。?

4.根據權利要求1所述的垂直霍爾效應傳感器，其中，所述至少兩個電源端子和所述至少一個霍爾信號端子包括各自的施加觸點和各自的感測觸點。?

5.根據權利要求4所述的垂直霍爾效應傳感器，其中，在使用所述各自的感測觸點監測施加給所述各自的施加觸點的各個電位時，所述反饋回路將不同的參考電位同時施加給所述各自的施加觸點。?

6.根據權利要求1所述的垂直霍爾效應傳感器，其中，各個電源端子和各個霍爾信號端子包括各自的施加觸點和各自的感測觸點，其中，所述反饋回路將至少三個不同的參考電位同時施加給所述各自的感測觸點。?

7.根據權利要求1所述的垂直霍爾效應傳感器，其中，所述第一霍爾信號源自流至所述施加觸點的電流，或者源自從所述施加觸點流出的電流。?

8.根據權利要求1所述的垂直霍爾效應傳感器，其中，所述垂直霍爾效應傳感器以旋轉電流方案進行操作，所述旋轉電流方案在操作期間重復地交換電源端子和霍爾信號端子。?

9.根據權利要求1所述的垂直霍爾效應傳感器，進一步包括：?

第二導電霍爾效應區域，被布置在所述半導體基板表面之下，并且通過隔離結構與所述第一導電霍爾效應區域分離；?

至少兩個電源端子，被布置為向所述第二導電霍爾效應區域供應電能；?

至少一個霍爾信號端子，被布置為提供來自所述第二導電霍爾效應區域的第二霍爾信號，所述第二霍爾信號指示作用在所述第二導電霍爾效應區域上的磁場；以及?

其中，所述磁場的值通過采用所述第一霍爾信號和所述第二霍爾信號之間的差導出。?

10.一種垂直霍爾效應器件，包括：?

導電槽，具有第一導電類型并且被設置在半導體基板內；?

隔離結構，被布置在所述槽的周界周圍，以將所述槽與位于所述周界外部的其他半導體器件電氣隔離；?

多個觸點對，在所述導電槽內具有各自的第一觸點和各自的第二觸點，其中，所述各自的第一觸點沿著與第一軸平行的第一線布置，其中，所述各自的第二觸點沿著與所述第一軸平行的第二線設置，其中，第一和第二線彼此間隔開，使所述各自的第一觸點和所述各自的第二觸點關于所述第一軸對稱地隔開；以及?

控制器，被配置為在第一時間同時將第一電位施加給第一觸點對的施加觸點，將第二電位施加給第二觸點對的施加觸點，并且將第三電位施加給第三觸點對的施加觸點；?

所述控制器進一步被配置為測量所述第一觸點對、所述第二觸點對或所述第三觸點對的感測觸點的霍爾效應電流；同時施加所述第一電位、所述第二電位以及所述第三電位；?

反饋電路，耦接至所述第一觸點對，并且被配置為通過將一個或多個反饋信號提供給所述第一觸點對的施加觸點，控制在所述第一觸點對的感測觸點的所述第一電位。?

11.根據權利要求10所述的垂直霍爾效應器件，其中，所述第一電位、所述第二電位以及所述第三電位不同。?