[實用新型]顯示基板的污染物顆粒監控裝置及快速熱退火系統

有效

• 申請號: 201320370627.7
• 申請日: 2013-06-26
• 公開（公告）號: CN203337511U
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發明（設計）人: 田慧
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01N15/10
• 分類號: G01N15/10;H01L21/324
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國勝

1.一種顯示基板的污染物顆粒監控裝置，其特征在于，包括：?

污染物顆粒監測模塊，用于檢測并采集污染物顆粒信息的；?

信息處理模塊，用于根據所采集的污染物顆粒信息對顯示基板進行清潔度判斷；所述污染物顆粒監測模塊與所述信息處理模塊連接；?

所述信息處理模塊包括：?

運算編輯單元，用于計算顯示基板清潔度；?

信息接收單元，用于接收反饋信息；?

所述信息接收單元與所述運算編輯單元連接；所述污染物顆粒監測模塊與所述信息接收單元連接。?

2.如權利要求1所述顯示基板的污染物顆粒監控裝置，其特征在于，所述污染物顆粒監測模塊是紅外光譜儀；所述紅外光譜儀與所述信息處理模塊連接。?

3.如權利要求1所述顯示基板的污染物顆粒監控裝置，其特征在于，所述污染物顆粒監測模塊是紫外可見分光光度計；所述紫外可見分光光度計與所述信息處理模塊連接。?

4.如權利要求1所述顯示基板的污染物顆粒監控裝置，其特征在于，所述污染物顆粒監測模塊是質譜儀；所述質譜儀與所述信息處理模塊連接。?

5.如權利要求4所述顯示基板的污染物顆粒監控裝置，其特征在于，所述信息處理模塊還包括：?

指令發送單元，用于發送指令；?

該指令發送單元連接有傳送機構，用于傳送顯示基板；所述指令發送單元與所述運算編輯單元連接。?

6.如權利要求5所述顯示基板的污染物顆粒監控裝置，其特征在于，所述傳送機構上設有位置傳感器，用于檢測顯示基板傳送位置；該位置傳感器與所述信息接收單元連接。?

7.一種顯示基板的快速熱退火系統，其特征在于，包括如權利要求6中所述顯示基板的污染物顆粒監控裝置；還包括：?

紫外光處理裝置，用于去除顯示基板上污染物顆粒；?

溫度處理裝置，用于對顯示基板進行快速熱退火處理；?

所述紫外光處理裝置和溫度處理裝置分別與所述信息處理模塊連接。?

8.如權利要求7所述顯示基板的快速熱退火系統，其特征在于，所述紫外光處理裝置包括紫外光控制模塊，用于控制顯示基板去污；該紫外光控制模塊與所述指令發送單元連接，用于接收所述信息處理模塊發送的指令。?

9.如權利要求8所述顯示基板的快速熱退火系統，其特征在于，所述溫度處理裝置包括退火控制模塊，用于控制顯示基板熱退火；該退火控制模塊與所述指令發送單元連接，用于接收所述信息處理模塊發送的指令。?