[實用新型]一種在線反饋ITO薄膜特性裝置有效
| 申請號： | 201320368889.X | 申請日： | 2013-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN203360563U | 公開（公告）日： | 2013-12-25 |
| 發明（設計）人： | 李晨光 | 申請（專利權）人： | 南昌歐菲光科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/52 | 分類號： | C23C14/52;C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南昌新天下專利商標代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 330000 江西*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 在線 反饋 ito 薄膜 特性 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種在線反饋ITO薄膜特性裝置，它包括ITO靶材（1）、銅背板（2）、冷卻裝置（3）、?工藝氣體進氣口Ⅰ（4）、工藝氣體進氣口Ⅱ（5）、反應氣體進氣口Ⅰ（6）、反應氣體進氣口Ⅱ（7）、監測光纖探頭（8）、基材（9）、鍍膜腔室（10）、陰極護罩（11）；
其特征在于：ITO靶材（1）綁定于銅背板（2）表面，銅背板（2）的另一面固定有冷卻裝置（3）；
工藝氣體進氣口Ⅰ（4）、工藝氣體進氣口Ⅱ（5）置于陰極靶下方，分為左右兩路；
反應氣體進氣口Ⅰ（6）、反應氣體進氣口Ⅱ（7）置于陰極靶上方，分為左右兩路；
陰極靶正上方為基材（9）；監測光纖探頭（8）放置于反應濺射腔室側壁反應氣體進氣口Ⅱ（7）下方。
2.根據權利要求1所述的在線反饋ITO薄膜特性裝置，其特征在于：等離子體發射監測系統（12）和數據處理裝置（13）與上述監測光纖探頭（8）連接。
3.根據權利要求1或2所述的在線反饋ITO薄膜特性裝置，其特征在于：所述監測光纖探頭（8）的數量為3個，與靶材平行方向等距放置。
4.根據權利要求1或2所述的在線反饋ITO薄膜特性裝置，其特征在于：所述基材（9）為玻璃基材或者柔性PET基材，靶基距為100mm-150mm。
5.根據權利要求1或2所述的在線反饋ITO薄膜特性裝置，其特征在于：陰極靶位采用直流單靶位，電源采用直流電源。
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