[實用新型]一種新型硅芯爐籽晶盤換位機構

有效

• 申請號: 201320346924.8
• 申請日: 2013-06-18
• 公開（公告）號: CN203307475U
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發明（設計）人: 劉劍
• 申請（專利權）人: 劉劍
• 主分類號: C30B13/00
• 分類號: C30B13/00;C30B13/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及硅芯拉制設備，尤其涉及一種新型硅芯爐籽晶盤換位機構。

背景技術

硅芯晶體生長一般采用垂直區熔法，即原料棒固定在下軸上，籽晶裝在上軸，上下軸同軸心，用高頻感應線圈在氬氣氣氛中加熱，使原料棒的頂部和在其上部靠近的同軸固定的單晶籽晶間形成熔滴，隨著硅芯晶體的不斷生長，硅芯晶體向上作慢速提拉。目前，硅芯在國內使用量巨大，現有的硅芯、單晶硅及其它材料晶體區熔方式生產的工藝過程中，大多使用一種單目高頻線圈，其工作原理是通過給高頻線圈通入高頻電流，使高頻線圈產生電流對原料棒進行感應加熱，加熱后的原料棒上端頭形成融化區，然后將仔晶通過拉制孔后插入原料棒上端的熔化區，然后慢慢提升仔晶，熔化后的原料就會跟隨仔晶上升，形成一個新的柱形晶體，這個新的柱形晶體便是硅芯或其它材料晶體的制成品。但是，現有的硅芯爐籽晶盤缺少行之有效的換位機構，特別是在進行硅芯區熔法拉制時，整體運作結構不夠穩定，在爐體單機產能效率較低；同時，在硅芯爐內缺乏一套能夠相互協調控制的機構來實現硅芯的提拉動作。因此，針對以上方面，需要對現有技術進行合理的改進。

實用新型內容

針對以上缺陷，本實用新型提供一種有利于提高單機產能效率、可使硅芯區熔法拉制更加穩定、密封性較好、可降低人工勞動成本的新型硅芯爐籽晶盤換位機構，以解決現有技術的諸多不足。

為實現上述目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種新型硅芯爐籽晶盤換位機構，包括硅芯提拉頭、籽晶盤及爐體，所述爐體內部設有硅芯提拉頭并且該硅芯提拉頭上端連接提拉鋼繩軟軸，位于爐體上表面水平安裝一個換位滑臺并且此換位滑臺與換位馬達相接，同時，換位滑臺相鄰位置的爐體上表面垂直安裝一個轉位馬達；所述硅芯提拉頭側面設置鋼絲導軌，位于硅芯提拉頭下端連接晶盤座，該晶盤座下方掛接籽晶盤，位于爐體上方封口處設置有密封倉。

相應地，所述提拉鋼繩軟軸穿過爐體上表面垂直向上延伸，所述籽晶盤數量設置為五組。

本實用新型所述的新型硅芯爐籽晶盤換位機構的有益效果為：該設備垂直使用，通過密封倉隔絕爐體內外氣體，轉位籽晶盤座由轉位馬達、換位滑臺、換位馬達、籽晶盤、提拉鋼繩軟軸之間的相互協調PLC控制來實現硅芯的提拉動作，整體結構可使硅芯區熔法拉制更加穩定，在爐體內徑不改變的情況下最大限度的提高單機產能。

附圖說明

下面根據附圖對本實用新型作進一步詳細說明。

圖1是本實用新型實施例所述新型硅芯爐籽晶盤換位機構示意圖；

圖2是本實用新型實施例所述新型硅芯爐籽晶盤換位機構的側面示意圖。

圖中：

1、提拉鋼繩軟軸；2、鋼絲導軌；3、硅芯提拉頭；4、籽晶盤；5、轉位馬達；6、換位滑臺；7、換位馬達；8、晶盤座；9、密封倉；10、爐體。

具體實施方式

如圖1-2所示，本實用新型實施例所述的新型硅芯爐籽晶盤換位機構，包括硅芯提拉頭3、籽晶盤4及爐體10，所述爐體10內部設有硅芯提拉頭3并且該硅芯提拉頭3上端連接提拉鋼繩軟軸1，此提拉鋼繩軟軸1穿過爐體10上表面垂直向上延伸，位于爐體10上表面水平安裝一個換位滑臺6并且此換位滑臺6與換位馬達7相接，同時，換位滑臺6相鄰位置的爐體10上表面垂直安裝一個轉位馬達5并且此轉位馬達5設置于爐體10上方中心位置處；

所述硅芯提拉頭3側面設置鋼絲導軌2，位于硅芯提拉頭3下端連接晶盤座8，該晶盤座8下方等距離掛接五組籽晶盤4，位于爐體10上方封口處設置有密封倉9。當工作時，轉位籽晶盤座8掛入五組籽晶盤4，轉位籽晶座8前移將籽晶盤4掛入硅芯提拉頭3，轉位籽晶盤座8后移，硅芯提拉頭3下行至熔區提拉硅芯，硅芯提拉完成后進入軟軸上限，轉位籽晶盤座8前移將成品硅芯掛入并后移轉位完成一個工作周期，重復四次，完成五次拉制。

上述對實施例的描述是為了便于該技術領域的普通技術人員能夠理解和應用本案技術，熟悉本領域技術的人員顯然可輕易對這些實例做出各種修改，并把在此說明的一般原理應用到其它實施例中而不必經過創造性的勞動。因此，本案不限于以上實施例，本領域的技術人員根據本案的揭示，對于本案做出的改進和修改都應該在本案的保護范圍內。