[實用新型]清洗槽

有效

• 申請號: 201320259750.1
• 申請日: 2013-05-14
• 公開（公告）號: CN203281549U
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 唐強;李廣寧
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: B08B3/14
• 分類號: B08B3/14;B08B3/10;B08B3/12
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種清洗槽，包括一內清洗槽，所述內清洗槽具有一底壁以及連接于所述底壁上的四個側壁，其特征在于，所述內清洗槽還包括：

一過濾網；以及

一自動開關的槽蓋，所述槽蓋與所述底壁相對設置并位于所述側壁上，所述槽蓋與所述底壁和側壁圍成一封閉的容納空間；

其中，至少一個所述側壁在靠近槽蓋的一端上設置有一開口，所述開口被所述過濾網覆蓋。

2.如權利要求1所述清洗槽，其特征在于，所述過濾網的材料均為聚丙烯樹脂。

3.如權利要求2所述清洗槽，其特征在于，所述過濾網包括從槽內至槽外依次編織的內層濾網和外層濾網，所述內層濾網由內層纖維編織而成，所述外層濾網由外層纖維編織而成。

4.如權利要求3所述清洗槽，其特征在于，所述內層纖維的線徑大于所述外層纖維的線徑。

5.如權利要求3或4所述清洗槽，其特征在于，所述內層纖維的編織密度高于所述外層纖維的編織密度。

6.如權利要求1所述清洗槽，其特征在于，每個所述側壁在靠近槽蓋的一端上均設置有所述開口，多個所述開口連接形成一封閉環。

7.如權利要求1所述清洗槽，其特征在于，所述內清洗槽還包括一控制氣缸，所述控制氣缸與所述槽蓋連接。

8.如權利要求1所述清洗槽，其特征在于，還包括一外清洗槽，所述外清洗槽包括一敞口槽體，所述內清洗槽設置于所述外清洗槽內。

9.如權利要求8所述清洗槽，其特征在于，所述內清洗槽還包括：

設置于所述底壁上的超聲波振動器；以及

設置于所述側壁上的旋轉裝置。

10.如權利要求9所述清洗槽，其特征在于，所述內清洗槽的底壁上設有進液口，所述內清洗槽的所述側壁設置有出液口。