[實用新型]一種用于藍寶石晶體動態溫度法生長的獨立加熱雙坩堝連續供料裝置

有效

• 申請號: 201320251148.3
• 申請日: 2013-04-09
• 公開（公告）號: CN203295664U
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發明（設計）人: 萬尤寶;張建新;沈慧娟;熊小青
• 申請（專利權）人: 嘉興學院
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B15/02;C30B15/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于藍寶石晶體動態溫度法生長的獨立加熱雙坩堝連續供料裝置，其特征是所涉及的裝置包括位于生長坩堝(3)中熔體(4)上方的固定生長籽晶(2)的籽晶桿(1)，籽晶桿(1)由晶體生長設備的提拉頭控制，生長坩堝(3)位于晶體生長加熱爐中，加熱爐發熱體(5)的溫控設備獨立控制，生長坩堝(3)通過連通器(6)與化料坩堝(11)中下面的熔體(10)相連，連通器中有一個耐高溫的閥門(8)，可以控制連通器(6)中的熔體(10)的流動情況，通過控制連通器(6)發熱體(7)的加熱功率可以調節連通器(6)熔體的溫度，化料坩堝(11)中的溫度由位于其外壁的化料發熱體(9)的加熱功率控制，位于化料坩堝(11)中熔體(10)上方的固態料(12)能夠在晶體生長過程中補充熔體(10)的消耗。?

2.如權利要求1所述的一種用于藍寶石晶體動態溫度法生長的獨立加熱雙坩堝連續供料裝置，其特征是所述的加熱爐發熱體(5)、連通器發熱體(7)和化料發熱體(9)的溫度能夠獨立控制。?

3.如權利要求1所述的一種用于藍寶石晶體動態溫度法生長的獨立加熱雙坩堝連續供料裝置，其特征是所述的生長坩堝(3)、化料坩堝(11)和連通器(6)以及閥門(8)由耐高溫的鎢金制作。?

4.如權利要求1所述的一種用于藍寶石晶體動態溫度法生長的獨立加熱雙坩堝連續供料裝置，其特征是所述的發熱體(5)、(6)和發熱體(9)由相同材質制鎢條。?

5.如權利要求1所述的一種用于藍寶石晶體動態溫度法生長的獨立加熱雙坩堝連續供料裝置，其特征是所述的裝置整體處于氮氣保護中。?