[實(shí)用新型]一種碘酒鈍化分裝包裝袋

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320225024.8
• 申請日: 2013-04-27
• 公開（公告）號: CN203372554U
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾湘安;艾斌
• 申請（專利權(quán)）人: 中山大學(xué)
• 主分類號: B65D30/22
• 分類號: B65D30/22
• 代理公司: 廣州新諾專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44100
• 代理人: 張玲春

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種包裝袋,特別是涉及一種密封性和穩(wěn)定性比較好的碘酒鈍化分裝包裝袋。

背景技術(shù)

為了準(zhǔn)確方便地獲得硅片最大的測試表觀少子壽命使得其盡量接近體少子壽命，碘酒鈍化是一種很好的表面鈍化方式。但是碘酒鈍化不穩(wěn)定而且碘酒容易揮發(fā)而污染測試探針。所以需要樣品袋包裝好硅片。

一直以來碘酒鈍化因?yàn)槠湔也坏胶玫姆盅b包裝袋，而使得袋內(nèi)的碘酒容易滲出而污染測試臺以及測試探針，而且穩(wěn)定性也不是很好，這給碘酒鈍化帶來很大的不便，導(dǎo)致大家很少用碘酒鈍化來測試其少子壽命。

這種碘酒易滲出而污染測試臺探針，且碘酒鈍化不是很穩(wěn)定的問題，目前尚沒有特別好的解決辦法。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有的碘酒鈍化分裝包裝袋易滲出，且污染測試臺以及測試探針且不穩(wěn)定等技術(shù)問題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種密封性和穩(wěn)定性都比較好的碘酒鈍化分裝包裝袋。

本實(shí)用新型的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本實(shí)用新型提出的一種酒鈍化分裝包裝袋，包括真空袋袋身，所述真空袋袋身具有三條封邊及一邊開口的袋口，所述真空袋袋身具有兩條密封線。

本實(shí)用新型的碘酒鈍化分裝包裝袋，所述兩條密封線包括第一密封線和第二密封線，所述第一密封線為設(shè)置在真空袋袋口1-2cm處的完全密封線，所述第二密封線為離硅片邊1-2cm處的不完全密封線。

本實(shí)用新型的碘酒鈍化分裝包裝袋，所述第一密封線與所述第二密封線分隔的區(qū)域間設(shè)有多余碘酒溶液存放區(qū)域。

本實(shí)用新型的碘酒鈍化分裝包裝袋，所述第二密封線不完全封住，留一個小口，以便存放硅片與部分碘酒的區(qū)域與多余碘酒存放區(qū)域連通。

借由上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和有益效果是：

本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，操作簡單，相比其他鈍化手段比如熱氧化鈍化以及用PECVD鍍氮化硅膜鈍化成本低很多，而且密封性好，幾乎不漏，穩(wěn)定性好，保證了測試的準(zhǔn)確性，有足夠的時間來保證測試。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型所用真空袋（三條封邊、一條開口邊）的主視圖。

圖2為本實(shí)用新型的碘酒鈍化分裝包裝袋的主視圖。

10：真空袋1：真空袋封邊（三條封邊）

2：鈍化的硅片3：開口邊（袋口）

4：第一密封線5：第二密封線

6：存放硅片與部分碘酒的區(qū)域7：多余碘酒存放區(qū)域

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例對本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)描述。

請參閱圖1和2所示，本實(shí)用新型的碘酒鈍化分裝包裝袋，其用的是本身密封性會相對好些的真空袋，該真空袋（袋身）10具有三條真空袋封邊1及一條開口邊（袋口）3。

該真空袋（袋身）10包括兩條密封線，第一密封線4是一條完全密封線，其設(shè)置在離袋口1-2cm處，這條完全封線主要是用來保證密封效果的；另外一條第二密封線5是離硅片1-2cm處的不完全封線，這條密封線在封住真空袋10時不完全封住，留一個小口，方便存放硅片與部分碘酒的區(qū)域6與多余碘酒存放區(qū)域7連通，以便碘酒溶液得以流通，保證碘酒鈍化效果的穩(wěn)定性，所以，第二密封線5除了保證密封性外，還保證了碘酒鈍化的穩(wěn)定性。

在該真空袋10的第一密封線4與第二密封線5之間設(shè)有多余碘酒溶液存放區(qū)域7。下面是本實(shí)用新型實(shí)施例的具體操作步驟：

1、首先將要鈍化的硅片2放入如圖1所示的真空袋10中（真空袋10需要比需要鈍化的硅片2大，本實(shí)施例中，156mm*156mm的硅片需要用200mm*300mm的真空袋）；

2、然后用滴管往真空袋10中的硅片表面滴加碘酒溶液，兩面都滴一些，注意小心不要滴到真空袋10的開口處，滴的碘酒溶液要適當(dāng)多些；

3、用手稍微抹平，注意不要將碘酒溶液抹出真空袋10，在離袋口1-2cm處用300型手壓式封口機(jī)封一條完全密封線（第一密封線4），第一密封線4保證鈍化的密封性；

4、將硅片處的碘酒抹平，盡量將一些多余的碘酒抹到圖2所示多余碘酒溶液存放區(qū)域7，再在距離硅片1-2cm處用熱封機(jī)封一條不完全密封線（第二密封線5），這條線不要全部密封，留一小部分不封起來，這樣多余的碘酒就存放兩條封線間區(qū)域即區(qū)域7，存放的碘酒可以與鈍化硅片存放的區(qū)域6處相通，保證鈍化的穩(wěn)定，這樣就得到圖2所示的碘酒鈍化分裝包裝袋；