[實(shí)用新型]一種光刻機(jī)硅片臺(tái)微動(dòng)工作臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320224100.3
• 申請(qǐng)日: 2013-04-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203275876U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 成榮;朱煜;張鳴;劉召;楊開(kāi)明;徐登峰;張利;田麗;葉偉楠;張金;尹文生;穆海華;胡金春;趙彥坡;秦慧超;胡清平
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 清華大學(xué);北京華卓精科科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京鴻元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 邸更巖

1.一種光刻機(jī)硅片臺(tái)微動(dòng)工作臺(tái)，含有基座（1），微動(dòng)工作臺(tái)動(dòng)子，微動(dòng)工作臺(tái)定子，其特征在于：該微動(dòng)工作臺(tái)還包括第一種洛倫茲電機(jī)和第二種洛倫茲電機(jī)；所述的第一種洛倫茲電機(jī)實(shí)現(xiàn)在水平面內(nèi)沿X方向、Y方向和繞Z軸旋轉(zhuǎn)的三個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)；所述的第二種洛倫茲電機(jī)實(shí)現(xiàn)沿Z方向、繞X軸旋轉(zhuǎn)和繞Y軸旋轉(zhuǎn)的三個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)；所述的第一種洛倫茲電機(jī)采用四個(gè)，呈方形布置，且該種電機(jī)的線圈在水平面內(nèi)出力；所述第二種洛倫茲電機(jī)采用四個(gè)，第二種洛倫茲電機(jī)分別對(duì)應(yīng)布置在每個(gè)第一種洛倫茲電機(jī)外側(cè)，呈方形布置，且該種電機(jī)的線圈沿豎直方向出力；

四個(gè)第一種洛倫茲電機(jī)的永磁體、軛鐵和永磁體骨架以及四個(gè)第二種洛倫茲電機(jī)的永磁體、軛鐵和永磁體骨架共同組成微動(dòng)工作臺(tái)的動(dòng)子部分；四個(gè)第一種洛倫茲電機(jī)和四個(gè)第二種洛倫茲電機(jī)的線圈和線圈骨架以及微動(dòng)臺(tái)基座共同組成微動(dòng)工作臺(tái)的定子部分。

2.按照權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)硅片臺(tái)微動(dòng)工作臺(tái)，其特征在于：所述的微動(dòng)工作臺(tái)還包含一組重力補(bǔ)償結(jié)構(gòu)，重力補(bǔ)償結(jié)構(gòu)位于微動(dòng)工作臺(tái)中心部位，該組重力補(bǔ)償結(jié)構(gòu)包含至少三個(gè)永磁體單元和一個(gè)重力補(bǔ)償隔板（11），每個(gè)永磁體單元由永磁體和軛鐵組成，永磁體單元沿環(huán)形均布在微動(dòng)臺(tái)豎直中心軸線的周?chē)来朋w單元與永磁體骨架的上表面連接在一起，重力補(bǔ)償隔板（11）位于永磁體單元的下部，并與微動(dòng)工作臺(tái)線圈骨架（4）連接在一起，所述的永磁體單元與重力補(bǔ)償隔板（11）之間留有間隙。

3.按照權(quán)利要求1或2所述的一種光刻機(jī)硅片臺(tái)微動(dòng)工作臺(tái)，其特征在于：所述的微動(dòng)工作臺(tái)還包含三個(gè)位于微動(dòng)工作臺(tái)內(nèi)部的二維位移測(cè)量傳感器組件，每一個(gè)二維位移測(cè)量傳感器組件包括二維位移測(cè)量傳感器（41）、激光頭（42）、傳感器安裝座（43）以及激光頭安裝座（44）；每個(gè)二維位移測(cè)量傳感器（41）安裝在傳感器安裝座（43）上，傳感器安裝座（43）設(shè)置在微動(dòng)工作臺(tái)線圈骨架（4）的底部；激光頭（42）安裝在激光頭安裝座（44）中，激光頭安裝座（44）安裝在永磁體骨架的底部，并使激光頭（42）與二維位移測(cè)量傳感器（41）相對(duì)應(yīng)布置，且留有間隙。

4.按照權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)硅片臺(tái)微動(dòng)工作臺(tái)，其特征在于：所述的第一種洛倫茲電機(jī)和第二種洛倫茲電機(jī)的外形呈方形結(jié)構(gòu)。