[實用新型]一種循環抽氣獲得高純度太赫茲工作物質的激光器有效
| 申請號： | 201320200899.2 | 申請日： | 2013-04-21 |
| 公開（公告）號： | CN203645126U | 公開（公告）日： | 2014-06-11 |
| 發明（設計）人： | 張會云;劉蒙;張玉萍;張曉 | 申請（專利權）人： | 山東科技大學 |
| 主分類號： | H01S3/036 | 分類號： | H01S3/036;H01S3/10 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 266590 山東省青*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 循環 獲得 純度 赫茲 工作 物質 激光器 | ||
1.一種循環抽氣獲得高純度太赫茲工作物質的激光器，其特征在于：包括泵浦源（1），太赫茲密封腔（9），輸入鏡（3），輸出鏡（13）；太赫茲密封腔（9）和輸入鏡（3）、輸出鏡（13）構成一個激光諧振腔；太赫茲密封腔前端設置輸入窗口（2），后端設置輸出窗口（14）；太赫茲密封腔側面設置工作物質輸入端（7），電容薄膜真空計（8），真空泵連接端口（12）；真空泵（10）經真空泵連接端口（12）與太赫茲密封腔相連，連接處設置真空泵手動閥門（11）；工作物質容器（4）經工作物質輸入端（7）與太赫茲密封腔（9）相連，連接處設置工作物質手動閥門（6）和高真空微調節閥門（5）。?
2.如權利要求1所述的一種循環抽氣獲得高純度太赫茲工作物質的激光器，其特征在于：所述的太赫茲密封腔（9）是內表面光滑的不銹鋼腔體，連接處使用法蘭和膠圈進行密封連接，腔體外表面繞有銅管，通水對諧振腔進行冷卻。?
3.如權利要求1所述的一種循環抽氣獲得高純度太赫茲工作物質的激光器，其特征在于：所述的輸入鏡（3）為銅基鍍金或鍍銀反射鏡，反射鏡中間開有錐形圓孔以透進泵浦激光束。?
4.如權利要求1所述的一種循環抽氣獲得高純度太赫茲工作物質的激光器，其特征在于：所述的輸出鏡（13）為銅基鍍金或鍍銀反射鏡，中間開有圓孔，作為太赫茲激光輸出耦合端。?
5.如權利要求1所述的一種循環抽氣獲得高純度太赫茲工作物質的激光器，其特征在于：所述的輸出鏡（13）為石英鍍金或鍍銀反射鏡，中間留有耦合輸出用不鍍膜部分，邊緣開通氣孔，作為太赫茲激光輸出耦合端。?
6.如權利要求1所述的一種循環抽氣獲得高純度太赫茲工作物質的激光器，其特征在于：所述的輸入窗口（2）是由泵浦光的窗口材料硒化鋅做成的，雙面鍍10.6微米二氧化碳激光增透膜，用法蘭和膠圈密封到太赫茲密封腔（9）輸入端。?
7.如權利要求1所述的一種循環抽氣獲得高純度太赫茲工作物質的激光器，其特征在于：所述的輸出窗口（14）為太赫茲波段的窗口材料做成的，用法蘭和膠圈密封到太赫茲密封腔（9）輸出端。?
8.如權利要求1所述的一種循環抽氣獲得高純度太赫茲工作物質的激光器，其特征在于：所述的電容薄膜真空計（8），是量程在0-1000Pa的電容薄膜規。?
9.如權利要求1所述的一種循環抽氣獲得高純度太赫茲工作物質的激光器，其特征在于：所述的真空泵（10）是機械真空泵，對太赫茲密封腔（9）進行抽真空。?
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